[发明专利]一种掩膜板及其制造方法有效
| 申请号： | 201310250635.2 | 申请日： | 2013-06-21 |
| 公开（公告）号： | CN103938154B | 公开（公告）日： | 2017-04-19 |
| 发明（设计）人： | 叶添昇 | 申请（专利权）人： | 厦门天马微电子有限公司;天马微电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/04 | 分类号： | C23C14/04;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 361101 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种掩膜板，包括至少一层支撑基板，其中支撑基板设有多个开口；至少一层定位层，设置在所述支撑基板上，其中所述定位层设有对应所述支撑基板开口的贯穿开口，并与所述支撑基板开口连通；所述支撑基板开口截面的宽度尺寸与所述定位层的贯穿开口截面的宽度尺寸沿支撑基板一侧到定位层一侧的方向上分别逐渐递减。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜板 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种掩膜板，包括：至少一层支撑基板，其中支撑基板设有多个开口；至少一层定位层，设置在所述支撑基板上，其中所述定位层设有对应所述支撑基板开口的贯穿开口，并与所述支撑基板开口连通；所述支撑基板开口截面的宽度尺寸与所述定位层的贯穿开口截面的宽度尺寸沿支撑基板一侧到定位层一侧的方向上分别逐渐递减，且所述支撑基板开口截面的最小宽度尺寸大于所述定位层贯穿开口截面的最大宽度尺寸；所述定位层为分离间隔的多个，分别对应设置于所述支撑基板各个开口的位置上；所述定位层的顶面与支撑基板顶面在垂直中心轴线上形成高度差。
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