[发明专利]一种硅微并联五杆机构

摘要

本发明涉及一种采用硅微加工工艺制作的微并联五杆机构，由可以两两组成V梁型电热硅微致动器的硅微活动杆件(1)、(2)、(3)和(4)，以及柔性铰链(5)、锚点(6)、读数装置(7)组成。读数装置(7)用于硅微并联五杆机构不同位置的微位移的测量，锚点(6)用于外界控制电压的输入以及为活动构件提供支撑作用，各构件之间采用柔性铰链(5)连接，可以使运动传递时机构具有很好的灵活性。为了实现硅微并联五杆机构的运动，当在锚点(6)之间施加驱动电压时，由活动构件组成的各V型电热硅微致动器之间产生相对运动，从而使得该机构具有确定的运动形式。

主权项

一种硅微并联五杆机构，包括第一活动硅微杆件（1）、第二活动硅微杆件（2）、第三活动硅微杆件（3）、第四活动硅微杆件（4），以及柔性铰链（5）、锚点（6）和读数装置（7），整体机构采用硅微加工工艺制作而成，其特征在于：所述的硅微并联五杆机构的第一活动硅微杆件（1）和第二活动硅微杆件（2）之间、第二活动硅微杆件（2）和第三活动硅微杆件（3）之间及第三活动硅微杆件（3）和第四活动硅微杆件（4）之间分别组成了电热硅微致动器，两锚点（6）之间的距离相当于第五杆，当在锚点（6）之间施加驱动电压时，第一活动硅微杆件（1）、第二活动硅微杆件（2）、第三活动硅微杆件（3）、第四活动硅微杆件（4）之间相当于电热驱动元件两两串接，整个机构符合自由度与约束的要求，从而该机构产生响应，输出运动；第一活动硅微杆件（1）的一端和第二活动硅微杆件（2）的一端、第二活动硅微杆件（2）的另一端和第三活动硅微杆件（3）一端、第三活动硅微杆件（3）另一端和第四活动硅微杆件（4）一端、第一活动硅微杆件（1）的另一端和一个锚点（6）、第四活动硅微杆件（4）的另一端和另一个锚点（6）均通过柔性铰链（5）相互连接；读数装置（7）用于硅微并联五杆机构在不同位置时微位移的测量；锚点（6）用于外界控制电压的输入和悬浮活动硅微杆件的支撑作用；各个活动硅微杆件之间采用硅微柔性铰链连接便于运动的传递，当改变组成硅微并联五杆机构各活动硅微杆件的长度尺寸包括两个锚点（6）之间的距离时，可改变机构的运动输出。