[发明专利]一种硅微并联五杆机构

权利要求书

1.一种硅微并联五杆机构，包括活动硅微杆件(1)、(2)、(3)、(4)，以及柔性铰链(5)、锚点(6)和读数装置(7)，整体机构采用采用硅微加工工艺制作而成，其特征在于：所述的硅微并联五杆机构的活动杆件(1)和(2)之间、活动杆件(2)和(3)之间及活动杆件(3)和(4)之间分别组成了电热硅微致动器，两锚点(6)之间的距离相当于第五杆(机架杆)，当在锚点(6)之间施加驱动电压时，活动硅微杆件(1)、(2)、(3)、(4)之间相当于电热驱动元件两两串接，整个机构符合自由度与约束的要求，从而该机构产生响应，输出运动。

2.如权利1所述的硅微并联五杆机构，其特征在于：组成硅微并联五杆机构的活动硅微杆件(1)和(2)、(2)和(3)及(3)和(4)之间构成了V型梁电热硅微致动器。

3.如权利1或2所述的硅微并联五杆机构，其特征在于：构成硅微并联五杆机构的V型梁电热硅微致动器的(1)和(2)、(2)和(3)及(3)和(4)的两臂可以制作为等长。

4.如权利1或2所述的硅微并联五杆机构，其特征在于：构成硅微并联五杆机构的V型梁电热硅微致动器的(1)和(2)、(2)和(3)及(3)和(4)的两臂可以制作为不等长。