[发明专利]一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料及其制备方法有效

专利信息
申请号: 201310223929.6 申请日: 2013-06-04
公开(公告)号: CN103343315A 公开(公告)日: 2013-10-09
发明(设计)人: 骆溁;陈江鹏;马赫;袁国亮;刘治国 申请(专利权)人: 南京理工大学
主分类号: C23C14/06 分类号: C23C14/06
代理公司: 南京理工大学专利中心 32203 代理人: 朱显国
地址: 210094 *** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料及其制备方法。该薄膜材料为n型半导体,分子式为BiFe1-xAxO3,其中x为0.0005-0.5,A为Nb或Mn元素中的一种或两种,且其厚度为15-500nm,电阻率为8.6×10-5-3×10-3Ω·cm,n型载流子浓度为1.4×1019-1.6×1022cm-3。本发明通过调节掺杂量,精确调控其电阻率、n型载流子浓度等半导体性能,在电子元器件、光电探测器和太阳能电池等领域具有巨大的实际应用价值。
搜索关键词: 一种 掺杂 铁酸铋 半导体 薄膜 材料 及其 制备 方法
【主权项】:
一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料,其特征在于所述薄膜材料为n型半导体,分子式为 BiFe1‑xAxO3,其中x为0.0005‑0.5,A为Nb或Mn元素中的一种或两种。
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