[发明专利]一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料及其制备方法有效
申请号: | 201310223929.6 | 申请日: | 2013-06-04 |
公开(公告)号: | CN103343315A | 公开(公告)日: | 2013-10-09 |
发明(设计)人: | 骆溁;陈江鹏;马赫;袁国亮;刘治国 | 申请(专利权)人: | 南京理工大学 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06 |
代理公司: | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人: | 朱显国 |
地址: | 210094 *** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 本发明公开了一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料及其制备方法。该薄膜材料为n型半导体,分子式为BiFe1-xAxO3,其中x为0.0005-0.5,A为Nb或Mn元素中的一种或两种,且其厚度为15-500nm,电阻率为8.6×10-5-3×10-3Ω·cm,n型载流子浓度为1.4×1019-1.6×1022cm-3。本发明通过调节掺杂量,精确调控其电阻率、n型载流子浓度等半导体性能,在电子元器件、光电探测器和太阳能电池等领域具有巨大的实际应用价值。 | ||
搜索关键词: | 一种 掺杂 铁酸铋 半导体 薄膜 材料 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种掺杂铁酸铋半导体薄膜材料,其特征在于所述薄膜材料为n型半导体,分子式为 BiFe1‑xAxO3,其中x为0.0005‑0.5,A为Nb或Mn元素中的一种或两种。
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