[发明专利]基于纳米结构的互联线和散热器在审
申请号: | 201310220391.3 | 申请日: | 2006-08-28 |
公开(公告)号: | CN103354223A | 公开(公告)日: | 2013-10-16 |
发明(设计)人: | 穆罕默德·沙菲奎尔·卡比尔 | 申请(专利权)人: | 斯莫特克有限公司 |
主分类号: | H01L23/367 | 分类号: | H01L23/367;H01L23/373;H01L23/532 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 王鹏鑫 |
地址: | 瑞典*** | 国省代码: | 瑞典;SE |
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摘要: | 本发明提供了在导电或绝缘基底上生长的纳米结构,及其生长方法。根据权利要求的方法生长的纳米结构适用于电子器件的互连线和/或散热器。 | ||
搜索关键词: | 基于 纳米 结构 互联线 散热器 | ||
【主权项】:
一种散热器,包括:导电基底;和由所述导电基底支撑的多个纳米结构,所述多个纳米结构至少部分地嵌在绝缘体中;其中所述纳米结构中的每一个包括:位于导电基底上的多个中间层,纳米结构的本质和性质由基底和纳米结构之间的多个层的本质和互相扩散区域而决定。
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