[发明专利]一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法有效
| 申请号： | 201310215186.8 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN103293660A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | 蒙庆华;陈四海;赖建军;黄光;吕超鸿;黄鹰 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学;广西师范学院;中国科学院深圳先进技术研究院 |
| 主分类号： | G02B26/00 | 分类号： | G02B26/00;B81C1/00 |
| 代理公司： | 华中科技大学专利中心 42201 | 代理人： | 朱仁玲 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法，包括衬底，在衬底片的一面附着增透膜，另一面附着第一布拉格反射镜，在第一布拉格反射镜上附着第一电极和第二电极；在第一电极上附着四个金属桥墩，在四个金属桥墩上附着有桥面；桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形且中心嵌有第二布拉格反射镜；第一布拉格反射镜与第二布拉格反射镜构成F-P腔的谐振腔；通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜在垂直于第一布拉格反射镜的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能，该滤波器能有大的调谐范围，响应速度快。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微型 调谐 滤波器 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种微型F‑P腔可调谐滤波器，其特征在于，包括衬底(1)，在衬底片(1)的一面附着增透膜(2)，在衬底(1)的另一面附着第一布拉格反射镜(3)，在第一布拉格反射镜(3)上附着第一电极(4)和第二电极(5)；在第一电极(4)上附着四个金属桥墩，在所述四个金属桥墩上附着有桥面；所述桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形，且中心嵌有第二布拉格反射镜(9)；第一布拉格反射镜(3)与第二布拉格反射镜(9)构成F‑P腔的谐振腔；当第一电极(4)与第二电极(5)通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜(9)在垂直于第一布拉格反射镜(3)的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能。
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