[发明专利]一种微型F-P腔可调谐滤波器及其制备方法

权利要求书

1.一种微型F-P腔可调谐滤波器，其特征在于，包括衬底(1)，在衬底片(1)的一面附着增透膜(2)，在衬底(1)的另一面附着第一布拉格反射镜(3)，在第一布拉格反射镜(3)上附着第一电极(4)和第二电极(5)；在第一电极(4)上附着四个金属桥墩，在所述四个金属桥墩上附着有桥面；

所述桥面由四个悬臂梁和可动隔膜构成，每一个悬臂梁为L型，一个悬臂梁的一端与一个金属桥墩垂直固定连接，另一端与可动隔膜连接；可动隔膜为正方形，且中心嵌有第二布拉格反射镜(9)；第一布拉格反射镜(3)与第二布拉格反射镜(9)构成F-P腔的谐振腔；

当第一电极(4)与第二电极(5)通电后，四个悬臂梁发生弹性形变并带动可动隔膜和第二布拉格反射镜(9)在垂直于第一布拉格反射镜(3)的方向移动，改变谐振腔的腔长，实现滤波器的可调谐功能。

2.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述悬臂梁的材料为金属弹性形变材料。

3.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述金属桥墩用于实现第一电极与金属桥面之间的电连接，还用于支撑桥面。

4.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第一电极包括左电极和右电极，所述左电极与所述右电极形状相同且成对角对称设置。

5.如权利要求4所述的滤波器，其特征在于，所述左电极的形状为由一个第一长方形(40)，两个第一正方形(41、43)，两个第二长方形(42、44)构成的不规则多边形；所述第一长方形(40)的长度大于所述悬臂梁的长度且与所述第二电极(5)的长度相匹配，两个第二长方形(42、44)的面积等于分别与之连接的金属桥墩的面积，第一正方形(41)的边长等于第二长方形(42)的长度，第一正方形(43)的边长大于第二长方形(44)的宽度。

6.如权利要求1所述的滤波器，其特征在于，所述第二电极(5)的形状为由一个正方形(50)和两个长方形(51、52)构成的十字形结构，所述正方形(50)的中间预留有与所述第二布拉格反射镜(9)大小相等的孔(53)。

7.如权利要求6所述的滤波器，其特征在于，所述十字形中正方形(50)的面积大小与所述桥面的大小相匹配，长方形(51)的长边与正方形(50)中与第一电极(4)不相对的一边L1连接；长方形(52)的长边与正方形(50)中与第一电极(4)不相对的另一边L3连接；长方形(51、52)的长度小于正方形(50)的边长，正方形(50)的两条边L2、L4与第一电极(4)相对；正方形(50)中与第一电极(4)相对的边L2或L4与第一电极(4)之间形成了第一线宽，长方形(51、52)的宽与第一电极(4)之间形成了第二线宽，所述第一线宽与所述第二线宽相当。

8.一种制备上述权利要求1-7任一项所述的微型F-P腔可调谐滤波器的方法，其特征在于，包括下述步骤：

S1：在洁净的衬底的一面制备增透膜，另一面制备第一布拉格反射镜；

S2：在第一布拉格反射镜上制备第一电极和第二电极；

S3：在第一电极上制备四个金属桥墩；

S4：在形成有所述金属桥墩和第二电极的衬底表面涂覆牺牲层，对所述牺牲层进行光刻处理，将金属桥墩顶部的牺牲层去除并露出金属桥墩的顶部；

S5：对牺牲层进行固化处理；

S6：在固化后的牺牲层上制备桥面；

S7：去除桥面和衬底之间的牺牲层，形成微型F-P腔滤波器。

9.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述步骤S2具体包括：

S21：在第一布拉格反射镜表面旋涂光刻胶，形成光刻胶薄膜，对光刻胶薄膜进行光刻处理，形成光刻胶的电极图形；

S22：对光刻胶的电极图形进行金属填充；

S23：采用剥离工艺，对金属填充后的光刻胶的电极图形进行剥离，形成第一电极和第二电极。

10.如权利要求8所述的方法，其特征在于，所述步骤S6具体包括：

S61：在固化后的牺牲层上涂覆一层光刻胶形成光刻胶薄膜，并对光刻胶薄膜进行光刻处理形成桥面结构图形；

S62：用金属填充桥面结构图形；

S63：采用剥离工艺对桥面图形填充有金属的光刻胶薄膜进行剥离并形成金属桥面；

S64：在金属桥面的中心嵌入第二布拉格反射镜。