[发明专利]炉管挡板的驱动系统及其初始化方法有效
申请号: | 201310215051.1 | 申请日: | 2013-05-31 |
公开(公告)号: | CN103295929A | 公开(公告)日: | 2013-09-11 |
发明(设计)人: | 王志良;裴雷洪;俞玮 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | H01L21/66 | 分类号: | H01L21/66;H01L21/677 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;林彦之 |
地址: | 201210 上*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种炉管挡板的驱动系统,包括挡板及控制挡板运动的控制装置,其中挡板位于所述炉管底部,其包括挡板本体及水平固定于挡板本体底部的保护盖;控制装置包括挡板驱动单元,用以根据控制信号驱动挡板进行水平方向的运动;其中,挡板驱动单元包括连接件,保护盖通过转轴枢接于连接件且保护盖具有底面与连接件相接触的第一部分;该第一部分通过紧固件与连接件固定连接并使挡板处于水平位置;挡板位置感应单元,用以感测挡板的位置并产生感测信号;以及控制单元,与挡板位置感应单元及挡板驱动单元相连,用以根据感测信号决定是否发出控制信号。本发明可避免系统初始化时挡板与装载区内壁发生碰撞,提高操作安全性。 | ||
搜索关键词: | 炉管 挡板 驱动 系统 及其 初始化 方法 | ||
【主权项】:
一种炉管挡板的驱动系统,包括挡板及控制所述挡板运动的控制装置,其中所述挡板位于所述炉管底部用以密封所述炉管,其包括挡板本体及水平固定于所述挡板本体底部的保护盖,其特征在于,所述控制装置包括:挡板驱动单元,用以根据控制信号驱动所述挡板进行水平方向的运动;其中,所述挡板驱动单元包括连接件,所述保护盖通过转轴枢接于所述连接件;所述保护盖的底面具有与所述连接件相接触的接触部;所述接触部通过紧固件与所述连接件固定连接并使所述挡板处于水平位置;挡板位置感应单元,用以感测所述挡板的位置并产生感测信号;以及控制单元,与所述挡板位置感应单元及所述挡板驱动单元相连,用以根据所述感测信号决定是否发出所述控制信号。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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