[发明专利]炉管挡板的驱动系统及其初始化方法

说明书

技术领域

本发明涉及半导体集成电路制造技术领域，尤其涉及一种炉管挡板的驱动系统及其初始化方法。

背景技术

目前半导体行业所用的晶片装载系统，如图1所示，机械手300将晶片传输至晶舟200，晶舟200在装载晶片后从位于装载区上方的炉管100的底部开口处搬入炉管的处理腔内，炉管100的底部开口处设有挡板1，其通过水平旋转开启或关闭该开口。图2所示为现有技术中挡板驱动系统的局部示意图。挡板驱动系统包括挡板1以及控制其运动的控制装置。控制装置包括挡板驱动单元和控制单元（图中未示），其中控制单元发出控制信号，挡板1则由挡板驱动单元根据该控制信号驱动以进行水平运动。如图所示，挡板包括挡板本体1a以及固设于本体1a下方的保护盖1b。保护盖1b中设有水气管路，以在工艺过程中起到对挡板本体冷却的作用，保护盖1b保护水气管路不受损坏。保护盖1b通过转轴2枢接于挡板驱动单元的连接件4。该转轴2将保护盖划分为第一部分和第二部分，其中第一部分的底面与连接件接触并通过紧固件3（如螺栓螺母和/或定位销）保持水平固定连接。由此，挡板驱动单元可驱动挡板进行水平方向的平移或旋转运动。当需进行炉管腔体更换、或进行定期保养或维修时，拆除紧固件3，则挡板本体1a以及保护盖1b的第二部分就可绕转轴2旋转而打开，向下垂放伸入装载区，之后就可以方便地进行更换维修等动作。

然而，当晶片传输装载系统发生连锁需要进行初始化时，也会对该挡板驱动系统做相应的初始化动作，即包括使得挡板在水平方向平移一段距离的动作。如果此时挡板处于正常工作位置（水平位置），则挡板的平移动作能够顺利进行。但如果此时正进行炉管腔体更换、或进行定期保养维修，挡板处于垂直下放状态并伸入装载区中靠近装载区的内壁，则其水平移动会使得挡板与其装载区内壁发生碰撞，造成挡板与装载区内壁损坏。

发明内容

本发明的主要目的在于克服现有技术的缺陷，提供一种炉管挡板的驱动系统，可实时检测挡板所处位置，以避免系统初始化时挡板与装载区内壁发生碰撞。

为达成上述目的，本发明提供了一种炉管挡板的驱动系统，包括挡板及控制所述挡板运动的控制装置，其中所述挡板位于所述炉管底部用以密封所述炉管，其包括挡板本体及水平固定于所述挡板本体底部的保护盖，所述控制装置包括：挡板驱动单元，用以根据控制信号驱动所述挡板进行水平方向的运动；其中，所述挡板驱动单元包括连接件，所述保护盖通过转轴枢接于所述连接件；所述保护盖的底面具有与所述连接件相接触的接触部；所述接触部通过紧固件与所述连接件固定连接并使所述挡板处于水平位置；挡板位置感应单元，用以感测所述挡板的位置并产生感测信号；以及控制单元，与所述挡板位置感应单元及所述挡板驱动单元相连，用以根据所述感测信号决定是否发出所述控制信号。

优选的，所述挡板位置感应单元为常开式继电器。

优选的，所述常开式继电器设于所述连接件底部且靠近所述转轴处，当所述挡板绕所述转轴旋转至垂直位置时，所述常开式继电器的动触点与所述保护盖接触。

优选的，所述挡板位置感应单元为常闭式继电器。

优选的，所述常闭式继电器设于所述接触部与所述连接件相接触的表面或所述连接件与所述接触部相接触的表面。

优选的，所述挡板位置感应单元为压力传感器。

优选的，所述压力传感器设于所述接触部与所述连接件相接触的表面或所述连接件与所述接触部相接触的表面或所述连接件底部靠近所述转轴处。

优选的，所述挡板位置感应单元为一对红外传感器。

优选的，所述一对红外传感器设于所述挡板本体底部或所述保护盖底面远离所述接触部处，以及所述炉管下方的装载区的内壁上。

本发明还提供了一种应用上述炉管挡板控制装置进行晶片传输装载系统初始化的方法，其中进行初始化包括发出所述控制信号以驱动所述挡板进行水平方向的运动，所述方法包括以下步骤：

感测所述挡板的位置以判断所述挡板是否处于水平位置；

如果所述挡板处于水平位置，则对所述驱动系统进行初始化使所述挡板进行水平方向的运动；否则，取消对所述驱动系统进行初始化，并报警。

本发明的优点在于通过检测炉管挡板的位置状态判断是否可以对挡板进行水平运动，从而避免了在进行炉管腔体更换或保养维修时水平移动或旋转处于垂直状态的挡板，而造成挡板和装载区内壁碰撞的情况发生，确保了操作的安全性。

附图说明

图1所示为现有技术中晶片传输装载系统的示意图；

图2所示为现有技术中炉管挡板驱动系统的局部示意图；