[发明专利]双振膜声波传感器有效
| 申请号： | 201310212451.7 | 申请日： | 2013-05-31 |
| 公开（公告）号： | CN104219598B | 公开（公告）日： | 2018-03-30 |
| 发明（设计）人： | 邓嘉文 | 申请（专利权）人： | 美律电子(深圳)有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/20 | 分类号： | H04R1/20 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙)44248 | 代理人： | 罗志强,黄震 |
| 地址： | 518000 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种双振膜声波传感器，包含有一基板，具有一第一侧面、一背对该第一侧面的第二侧面，以及一贯穿该第一、第二侧面的镂空槽；一声波感测单元，设于该基板的第一侧面且对应于该镂空槽，并且具有一内振膜及一外振膜，该外振膜环绕在该内振膜的周围；以及一支撑单元，具有至少二第一弹性支撑件，该二第一弹性支撑件相对地连接在该声波感测单元的内、外振膜之间。本发明的双振膜声波传感器利用该内、外振膜的配置，让该内、外振膜在同时受到声压作用，该内振膜会产生比该外振膜更大的位移量而提高灵敏度，使得本发明可以在不增加感测面积的情况下达到提高灵敏度的功效。 | ||
| 搜索关键词： | 双振膜 声波 传感器 | ||
【主权项】：
一种双振膜声波传感器，其特征是，包含有：一基板，具有一第一侧面、一背对该第一侧面的第二侧面，以及一贯穿该第一、第二侧面的镂空槽；一声波感测单元，设于该基板的第一侧面且对应于该镂空槽，并且具有一内振膜及一外振膜，该外振膜环绕在该内振膜的周围；以及一支撑单元，具有至少二第一弹性支撑件，该二第一弹性支撑件相对地连接在该声波感测单元的内、外振膜之间；且该支撑单元还具有一支撑座与至少两个第二弹性支撑件，该支撑座固定于该基板的第一侧面且环绕在该外振膜的周围，该两个第二弹性支撑件连接在该支撑座与该外振膜之间。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于美律电子(深圳)有限公司，未经美律电子(深圳)有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310212451.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
