[发明专利]双振膜声波传感器

权利要求书

1.一种双振膜声波传感器，其特征是，包含有：

一基板，具有一第一侧面、一背对该第一侧面的第二侧面，以及一贯穿该第一、第二侧面的镂空槽；

一声波感测单元，设于该基板的第一侧面且对应于该镂空槽，并且具有一内振膜及一外振膜，该外振膜环绕在该内振膜的周围；以及

一支撑单元，具有至少二第一弹性支撑件，该二第一弹性支撑件相对地连接在该声波感测单元的内、外振膜之间；且该支撑单元还具有一支撑座与至少两个第二弹性支撑件，该支撑座固定于该基板的第一侧面且环绕在该外振膜的周围，该两个第二弹性支撑件连接在该支撑座与该外振膜之间。

2.如权利要求1所述的双振膜声波传感器，其特征是：其中各第一弹性支撑件具有两个第一连接段及一第一连续弯曲段，该两个第一连接段分别连接该内振膜的外周缘及该外振膜的内周缘，该第一连续弯曲段连接在第一连接段之间。

3.如权利要求1所述的双振膜声波传感器，其特征是：其中各该第二弹性支撑件具有两个第二连接段及一第二连续弯曲段，该两个第二连接段分别连接该支撑座的内周缘与该外振膜的外周缘，该第二连续弯曲段连接在第二连接段之间。

4.如权利要求1所述的双振膜声波传感器，其特征是：其中该支撑单元还具有一支撑座，该支撑座固定于该基板的第一侧面且环绕在该外振膜的周围，该外振膜的外周缘直接连接于该支撑座。

5.如权利要求1所述的双振膜声波传感器，其特征是：其中该基板的第一侧面设有一背板，该背板覆盖该声波感测单元，且该背板朝该声波感测单元的一侧面设有一电极单元，该电极单元具有一内电极及一外电极，该内、外电极分别对应于该内、外振膜。

6.如权利要求5所述的双振膜声波传感器，其特征是：其中该背板具有多数个第一穿孔，该电极单元的内、外电极分别具有多数个第二穿孔，所述第一穿孔分别对应连通该些第二穿孔。