[发明专利]具有复合偏光片的光掩膜与优化不同图案的成像方法

摘要

本发明公开了一种具有复合偏光片的光掩膜，其结构包括透明基板、位于透明基板上的图案化层、以及位于透明基板上的偏光过滤组件。透明基板对于照明光实质上是透明的、图案化层对于照明光实质上至少是部份不透明的、而偏光过滤组件得以选择性地极化/偏振照明光。

主权项

一种具有复合偏光片的光掩膜，其特征在于，包含：一透明基板；位于所述透明基板上的一图案化层；以及位于所述透明基板上的一偏光过滤组件，其中所述透明基板对于一照明光是透明的，所述图案化层对于所述照明光至少是部分不透明的，而所述偏光过滤组件得以选择性地极化偏光所述照明光。