[发明专利]梳状气体混合单元及梳状气体混合器

摘要

本发明提供的梳状气体混合单元通过设置多个镀膜区域，并对每个镀膜区域对应设置喷气组件，其中喷气组件包括至少两个进气腔，这样，可将不会发生化学反应的两种或多种工作气体采用同一进气腔进行输送，使得工作气体在进气腔内进行第一次混合，来自不同进气腔的工作气体则由各自的喷气口喷出，并于所述喷气口与所述承载板之间的间距区域进行第二次混合。由于不同类型的工作气体在第一次混合中没有发生化学反应，只在第二次混合中才发生化学反应，于此可见本发明提供的梳状气体混合单元能够减少工作气体在混合气路上的化学反应。另外，本发明同时提供的梳状气体混合器通过将本发明提供的梳状气体混合单元并联设置，方便实现规模化管理。

主权项

梳状气体混合单元，其特征在于：包括一密封箱体，所述密封箱体内设有承载板；所述承载板一侧设有若干镀膜区域，另一侧对应各所述镀膜区域设有若干喷气组件；所述喷气组件包括至少两个进气腔，任一所述进气腔上远离所述承载板的第一箱壁上开设有进气口、靠近所述承载板的第二箱壁上开设有若干个喷气口，所述喷气口与所述承载板间距设置。