[发明专利]梳状气体混合单元及梳状气体混合器

权利要求书

1.梳状气体混合单元，其特征在于：包括一密封箱体，所述密封箱体内设有承载板；所述承载板一侧设有若干镀膜区域，另一侧对应各所述镀膜区域设有若干喷气组件；所述喷气组件包括至少两个进气腔，任一所述进气腔上远离所述承载板的第一箱壁上开设有进气口、靠近所述承载板的第二箱壁上开设有若干个喷气口，所述喷气口与所述承载板间距设置。

2.根据权利要求1所述的梳状气体混合单元，其特征在于：所述进气腔包括远离所述承载板的气体扩散部和靠近所述承载板的气体混合部，所述气体扩散部横截面大于所述气体混合部横截面，所述进气口设于所述气体扩散部上，所述喷气口设于所述气体混合部上。

3.根据权利要求2所述的梳状气体混合单元，其特征在于：所述气体扩散部和所述气体混合部之间通过横截面渐变的气体过渡部连接。

4.根据权利要求3所述的梳状气体混合单元，其特征在于：所述气体过渡部横截面由靠近所述气体扩散部向靠近所述气体混合部逐渐变小。

5.根据权利要求2所述的梳状气体混合单元，其特征在于：所述气体混合部外围设有冷却装置。

6.梳状气体混合器，其特征在于：包括若干如权利要求1-5任一项所述的梳状气体混合单元及数量与同一所述梳状气体混合单元上所述进气口数量相等的进气主管，各所述梳状气体混合单元上位置相同的进气口通过进气支管与同一进气主管连接。