[发明专利]衬底支撑结构、含有上述衬底支撑结构的反应腔室

摘要

本发明涉及衬底支撑结构，该衬底支撑结构包括衬底支撑盘和支撑环，所述支撑环支撑所述衬底支撑盘的边缘区域，所述衬底支撑盘下方并且所述支撑环围绕的空间内放置加热单元，所述支撑环至少与所述支撑盘接触的一段的导热性和吸热性均比石英好。本发明还提供一种含有上述衬底支撑结构的反应腔室。本发明的所述支撑环与所述支撑盘接触的一段的导热性和吸热性均比石英好，从而所述支撑环能吸收较多的热量，并将所述热量传递到所述衬底支撑盘的边缘区域，从而补偿所述衬底支撑盘边缘区域的温度，使得所述衬底支撑盘的温度分布更容易均匀，以提高反应腔室内工艺的可靠性。

主权项

一种衬底支撑结构，包括：衬底支撑盘和支撑环，所述支撑环支撑所述衬底支撑盘的边缘区域，所述衬底支撑盘下方并且所述支撑环围绕的空间内放置加热单元，其特征在于：所述支撑环至少与所述支撑盘接触的一段的导热性和吸热性均比石英好。