[发明专利]基于MEMS的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法有效
| 申请号： | 201310189054.2 | 申请日： | 2013-05-21 |
| 公开（公告）号： | CN103274351A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 陈德勇;邓涛;王军波;何文涛;范云洁;王鹏 | 申请（专利权）人： | 中国科学院电子学研究所 |
| 主分类号： | B81B7/00 | 分类号： | B81B7/00;B81C1/00;B81C3/00;G01V13/00 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 宋焰琴 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于MEMS技术的电化学地震检波器电极敏感核心及其制造方法。所述电极敏感核心由多层电极层和绝缘层交替堆叠构成，电极层和绝缘层分别是布满方形通孔或圆形通孔的矩形薄片，其均采用MEMS加工技术制造，可方便地改变电极层和绝缘层通孔的数量和大小以便改变流阻进而调整电化学地震检波器的灵敏度及噪声等特性，适应不同应用需求；基于本发明提出的制造方法能有效降低工艺难度，有利于实现电极敏感核心的批量化制造，制造的电极敏感核心具有良好的一致性。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 mems 电化学 地震 检波器 电极 敏感 核心 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种电化学地震检波器电极敏感核心，其特征在于，所述电极敏感核心由两层第一电极层(2)、两层第二电极层(4)、两层第一绝缘层(1)、两层第二绝缘层(3)和一层第三绝缘层(5)交替堆叠而成，其中：所述电极层(2，4)和所述绝缘层(1，3，5)上均布有多个通孔；所述电极层(2、4)由硅基材料或者金属材料制成；所述绝缘层(1、3、5)由硅基材料、玻璃、石英或者陶瓷制成；所述第一绝缘层(1)、第一电极层(2)、第二绝缘层(3)、第二电极层(4)、第三绝缘层(5)、第二电极层(4)、第二绝缘层(3)、第一电极层(2)和第一绝缘层(1)从上向下通过粘合或键合的方式依次堆叠起来。
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