[发明专利]一种工业化厚GEM制作方法有效
| 申请号： | 201310182365.6 | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN103280387A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 吕军光;武守坤;谢宇广;俞伯祥;章爱武;陈裕韬;唐宏华 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所;惠州市金百泽电路科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J9/00 | 分类号： | H01J9/00 |
| 代理公司： | 北京君尚知识产权代理事务所(普通合伙) 11200 | 代理人： | 余长江 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种工业化厚GEM制作方法。本方法为：1)在厚GEM原板上制备定位联接孔；2)将步骤1)处理后的厚GEM原板覆上一层抗蚀层；3)将设计图像转移至步骤2)处理后的厚GEM原板上；4)在步骤3)处理后的厚GEM原板上制备厚GEM孔；5)对所有厚GEM孔制备绝缘环；6)去除厚GEM原板上的所述抗蚀层。对步骤6)处理后的厚GEM原板上镀一层金层可进一步提升性能。本发明实现低成本、短周期、大面积、高成品率的国产厚GEM的工业化全流水线批量生产；并且生产出来的厚GEM应具有增益高、增益稳定性好，能量分辨好，耐打火，可在氩基和氖基等多种混和气体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 工业化 gem 制作方法 | ||
【主权项】：
一种工业化厚GEM制作方法，其步骤为：1)在厚GEM原板上制备定位联接孔；2)将步骤1)处理后的厚GEM原板覆上一层抗蚀层；3)将设计图像转移至步骤2)处理后的厚GEM原板上；4)在步骤3)处理后的厚GEM原板上制备厚GEM孔；5)对所有厚GEM孔制备绝缘环；6)去除厚GEM原板上的所述抗蚀层。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国科学院高能物理研究所;惠州市金百泽电路科技有限公司，未经中国科学院高能物理研究所;惠州市金百泽电路科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310182365.6/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：内燃机的阀正时控制装置
- 下一篇：散热器组件
