[发明专利]一种防止芯片凸点短路的封装件及其制造工艺在审
| 申请号: | 201310181835.7 | 申请日: | 2013-05-16 |
| 公开(公告)号: | CN103311205A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
| 发明(设计)人: | 王虎;朱文辉;谌世广;钟环清;刘卫东 | 申请(专利权)人: | 华天科技(西安)有限公司 |
| 主分类号: | H01L23/488 | 分类号: | H01L23/488;H01L21/50 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 710018 陕西省西*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种防止芯片凸点短路的封装件及其制造工艺,所述封装件主要包括铜线路、环状铜柱,铜柱、铜板、芯片凸点、芯片、溶化后的芯片凸点、塑封体、背面蚀刻后余留铜柱、绿油层、锡球。所述铜板上有铜线路、环状铜柱和铜柱,所述环状铜柱内粘接有溶化后的芯片凸点,芯片凸点上有芯片,铜板背面蚀刻后为余留铜柱,铜板背面有绿油层,锡球在背面蚀刻后余留铜柱上。所述的塑封体包围了铜板的上表面、铜线路、环状铜柱、铜柱、芯片,形成了电路整体。芯片及其上的芯片凸点、环状铜柱、以及背面蚀刻后余留铜柱构成了电源和信号通道。所述工艺流程如下:晶圆减薄→晶圆划片→倒装上芯→回流清洗→塑封→蚀刻分离引脚→绿漆填充→钢网印刷植球→打印→切割→包装→发货。本发明中两个芯片凸点之间可避免短路,提高产品可靠性。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 防止 芯片 短路 封装 及其 制造 工艺 | ||
【主权项】:
一种防止芯片凸点短路的封装件,其特征在于:所述封装件主要包括铜线路(1)、环状铜柱(2),铜柱(3)、铜板(4)、芯片凸点(5)、芯片(6)、溶化后的芯片凸点(7)、塑封体(8)、背面蚀刻后余留铜柱(9)、绿油层(10)、锡球(11);所述铜板(4)上有铜线路(1)、环状铜柱(2)和铜柱(3),所述环状铜柱(2)内粘接有溶化后的芯片凸点(7),芯片凸点(7)上有芯片(6),铜板(4)背面蚀刻后为余留铜柱(9),铜板(4)背面有绿油层(10),锡球(11)在背面蚀刻后余留铜柱(9)上;所述的塑封体(8)包围了铜板(4)的上表面、铜线路(1)、环状铜柱(2)、铜柱(3)、芯片(6),形成了电路整体;芯片(6)及其上的芯片凸点(5)、环状铜柱(2)、以及背面蚀刻后余留铜柱(9)构成了电源和信号通道。
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