[发明专利]一种超高纯硝酸的制备方法无效
| 申请号： | 201310180561.X | 申请日： | 2013-05-16 |
| 公开（公告）号： | CN104163405A | 公开（公告）日： | 2014-11-26 |
| 发明（设计）人： | 殷福华;朱龙;邵勇 | 申请（专利权）人： | 江阴江化微电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | C01B21/46 | 分类号： | C01B21/46 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214000 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种超高纯硝酸的制备方法，包括以下步骤：(1)将电子级硝酸电加热精馏，温度控制在110℃±10℃；(2)将步骤(1)所得馏分通过吹白反应釜用氮气去除馏分中的二氧化氮，使其透明无色；(3)将步骤(2)所得产物放入混配罐，加适量超纯水，搅拌30分钟；(4)将步骤(3)所得产物通过0.2μm的过滤器过滤，以除去混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得此硝酸。该制备方法在原有生产工艺条件下，通过进一步的精馏提纯、精密混配，去除产品中的杂质，使其纯度达到了PPt级，能满足极大规模集成电路生产工艺。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 硝酸 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种超高纯硝酸的制备方法，其特征在于，包括以下步骤： (1)将电子级硝酸电加热精馏，温度控制在110℃±10℃； (2)将步骤(1)所得产物通过吹白反应釜用氮气去除馏分中的二氧化氮，使其透明无色； (3)将步骤(2)所得产物放入混配罐，加适量超纯水，搅拌30分钟； (4)将步骤(3)所得产物通过0.2μm的过滤器过滤，以除去混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得此超高纯硝酸。
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