[发明专利]一种超高纯硝酸的制备方法

说明书

技术领域

本发明涉及一种硝酸的制备方法，尤其涉及一种超高纯硝酸的制备方法。

背景技术

近几年，中国集成电路行业随着产品由低端向高端延伸发展的新阶段，产业规模大幅提高，目前，在全世界太阳能绿色能源产业的带动下，我国的太阳能产业发展迅猛，中国已经成为全球第一大光伏产品生产国，在《可再生能源中长期发展规划》发布后，未来将进入全速发展期。以上种种形势表明我国在太阳能、IC、TFT-LCD等行业的发展迎来新一轮的发展，与之相配套的超高纯湿法电子化学品——超净高纯试剂、光刻胶及其配套试剂也迎来了新的机遇和挑战。目前的极大规模集成电路用超高纯硝酸有较多杂质，纯度不够。

发明内容

本发明提供一种超高纯硝酸的制备方法，其特征在于包括以下步骤：

(1)将电子级硝酸电加热精馏，温度控制在110℃±10℃；

(2)将步骤(1)所得产物通过吹白反应釜用氮气去除馏分中的二氧化氮，使其透明无色；

(3)将步骤(2)所得产物放入混配罐，加适量超纯水，搅拌30分钟；

(4)将步骤(3)所得产物通过0.2μm的过滤器过滤，以除去混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得此超高纯硝酸；

上述一种超高纯硝酸的制备方法，其中：所述步骤(1)中硝酸相对密度为1.40～1.42。

所述步骤(3)中硝酸浓度控制在65±0.5％。

与现有技术相比，本发明提供一种超高纯硝酸的制备方法，采用上述方式制得的超高纯硝酸杂质少，纯度高的硝酸，能达到PPT等级，完全满足极大规模集成电路的生产工艺。

具体实施方式

下面通过实施例描述本发明，但不限于所举实施例。

(1)将电子级硝酸电加热精馏，温度控制在110℃±10℃；

(2)将步骤(1)所得产物通过吹白反应釜用氮气去除馏分中的二氧化氮，使其透明无色；

(3)将步骤(2)所得产物放入混配罐，加适量超纯水，搅拌30分钟；

(4)将步骤(3)所得产物通过0.2μm的过滤器过滤，以除去混合物中粒径大于0.2μm的有害粒子，即得此超高纯硝酸；

上述一种超高纯硝酸的制备方法，其中：所述步骤(1)中硝酸相对密度为1.40～1.42。

所述步骤(3)中硝酸浓度控制在65±0.5％。

本发明提供一种超高纯硝酸的制备方法，采用上述方式制得的超高纯硝酸杂质少，纯度高的硝酸，能达到PPT等级，完全满足极大规模集成电路的生产工艺。