[发明专利]一种混合制程的虚拟测量方法与系统有效
| 申请号： | 201310179876.2 | 申请日： | 2013-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN103278714A | 公开（公告）日： | 2013-09-04 |
| 发明（设计）人： | 潘天红;陈山 | 申请（专利权）人： | 江苏大学 |
| 主分类号： | G01R31/00 | 分类号： | G01R31/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 南京知识律师事务所 32207 | 代理人： | 李媛媛 |
| 地址： | 212013 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种混合制程的虚拟测量方法与系统，包括生产机台、APC系统、错误侦测分类系统、数据收集引擎与处理系统和质量测试仪。生产机台在APC系统的操控下，对待加工产品执行加工过程；错误侦测分类系统监控生产机台的整个加工过程，并记录所有过程变量的数据；质量测试仪抽样检测加工后的产品质量；数据收集引擎与处理系统通过耦接在错误侦测分类系统与质量测试仪的数据线，收集全生产过程的数据，进行数据处理以及虚拟测量模型的参数辨识，并预测未抽样的、多种规格产品的质量。本发明利用所建立的虚拟测量模型，可对整个加工过程的产品质量进行评估，实现对“量少样多”的产品质量预测，并提高“量少”产品质量的预测精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 混合 虚拟 测量方法 系统 | ||
【主权项】：
一种混合制程的虚拟测量系统，包括生产机台、APC系统、错误侦测分类系统、数据收集引擎与处理系统和质量测试仪，其特征在于，所述生产机台在APC系统的操控下，对待加工产品执行加工过程；所述错误侦测分类系统监控生产机台的整个加工过程，并记录所有过程变量的数据；所述质量测试仪抽样检测加工后的产品质量；所述数据收集引擎与处理系统通过耦接在错误侦测分类系统与质量测试仪的数据线，收集全生产过程的数据，进行数据处理以及虚拟测量模型的参数辨识，并预测未抽样的、多种规格产品的质量。
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