[发明专利]一种混合制程的虚拟测量方法与系统

权利要求书

1.一种混合制程的虚拟测量系统，包括生产机台、APC系统、错误侦测分类系统、数据收集引擎与处理系统和质量测试仪，其特征在于，所述生产机台在APC系统的操控下，对待加工产品执行加工过程；所述错误侦测分类系统监控生产机台的整个加工过程，并记录所有过程变量的数据；所述质量测试仪抽样检测加工后的产品质量；所述数据收集引擎与处理系统通过耦接在错误侦测分类系统与质量测试仪的数据线，收集全生产过程的数据，进行数据处理以及虚拟测量模型的参数辨识，并预测未抽样的、多种规格产品的质量。

2.根据权利要求1所述的一种混合制程的虚拟测量系统，其特征在于，所述质量测试仪抽样检测加工后的产品质量，其抽样模式为随机方法，即在每一批次抽检2～3个产品。

3.一种如权利要求1所述的混合制程的虚拟测量系统的测量方法，具体过程如下：所述数据收集引擎与处理系统，在收集到错误侦测分类系统与质量测试仪传送来的过程变量数据与产品变量数据后，对所收集的过程变量数据进行归一化处理，并结合产品的效益因子，利用多变量共变异数分析方法，构建混合制程的多产品质量虚拟测量模型，再利用线性最小二乘算法辨识该虚拟测量模型的所有参数，得到最终的混合制程虚拟测量模型，并对未抽样的多种规格产品进行质量预测。

4.根据权利要求2所述的测量方法，其特征在于，所述归一化处理方法是将各过程变量数据先减去该过程变量的平均值，再除以该过程变量数据的标准差。

5.根据权利要求3或4所述的测量方法，其特征在于，所述最终的混合制程的多产品质量虚拟测量模型为：

y^j[i][i]=μ+τj[i][i]+Σp=1Pβpx~p[i]]]>

其中，y_j[i][i]为产品质量测试仪检测的质量数据，j[i]表示第#j号产品在第#i批次加工，j[i]∈[1,2,…,J]，即：总共有J种规格的产品；μ为数据收集引擎与处理系统计算的质量数据的平均值；β_p为模型的参数；为过程变量；p为变量序号，p=1,2,…,P，即：总共有P个变量；τ为产品的效益因子。