[发明专利]利用多晶Si切割废料制备氮化硅与碳化硅复相多孔陶瓷的方法有效
申请号: | 201310178070.1 | 申请日: | 2013-05-14 |
公开(公告)号: | CN104150910A | 公开(公告)日: | 2014-11-19 |
发明(设计)人: | 胡海龙;曾宇平;左开慧;夏咏锋;姚东旭;孙庆波 | 申请(专利权)人: | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
主分类号: | C04B35/565 | 分类号: | C04B35/565;C04B35/584;C04B35/622 |
代理公司: | 上海唯源专利代理有限公司 31229 | 代理人: | 刘秋兰 |
地址: | 200050 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种利用多晶Si切割废料制备Si3N4与SiC复相多孔陶瓷的方法,以多晶Si切割废料为原料,添加烧结助剂,机械球磨混合均匀成浆料;将浆料进行干燥、过筛、干压成型,并经冷等静压处理形成素坯体;将素坯体放置于烧结炉中,在高纯氮气气氛中,升温至1300~1500℃,然后进行氮化反应烧结,降温至800℃,最后随炉冷却得到Si3N4与SiC复相多孔陶瓷。本发明的方法具有变废为宝,直接避免了提纯Si、PEG与SiC的繁杂工序,得到的复相多孔陶瓷具有空隙结构分布均匀、互连,收缩率低、抗弯强度高等特点,能够满足高温下使用过滤器,催化剂载体和热绝缘材料等领域的使用。 | ||
搜索关键词: | 利用 多晶 si 切割 废料 制备 氮化 碳化硅 多孔 陶瓷 方法 | ||
【主权项】:
一种利用多晶Si切割废料制备Si3N4与SiC复相多孔陶瓷的方法,其特征在于包括如下步骤:步骤①以多晶Si切割废料为原料,添加烧结助剂,机械湿法球磨混合均匀成浆料,其中,所述烧结助剂包括Y2O3和Al2O3;步骤②将浆料进行干燥、过筛、干压成型,并经冷等静压处理形成素坯体;步骤③将素坯体放置于烧结炉中,在高纯氮气气氛中,先快速升温至900~1200℃,再缓慢升温至1300~1500℃,然后进行氮化反应烧结,烧结完毕降温至600~1000℃,最后随炉冷却得到Si3N4与SiC复相多孔陶瓷。
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