[发明专利]一种氮化镓器件的加工方法和氮化镓器件有效

专利信息
申请号: 201310172945.7 申请日: 2013-05-10
公开(公告)号: CN104143592B 公开(公告)日: 2017-09-26
发明(设计)人: 陈建国;张枫;刘蓬;谢春诚 申请(专利权)人: 北大方正集团有限公司;深圳方正微电子有限公司
主分类号: H01L33/00 分类号: H01L33/00;H01L33/30
代理公司: 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 代理人: 孔凡红
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明实施例提供一种氮化镓器件的加工方法,该加工方法为在氮化镓器件的表面垫积一层氧化层,所述氧化层的材质为电绝缘材质,对所述氧化层进行刻蚀,以保留所述氮化镓器件的台阶的侧壁上的氧化层、并去除掉所述台阶的侧壁之外的其他部分的氧化层。本发明还公开了一种氮化镓器件。采用本发明,可以完全的刻蚀掉上述台阶的前后两侧的金属层,避免金属刻蚀中台阶的前后两侧的侧壁金属残留,防止氮化镓器件的源级(S)和漏极(D)的金属短接互连,并有效的隔离氮化镓器件的栅极金属和氮化镓器件的导电沟道、防止氮化镓器件漏电。
搜索关键词: 一种 氮化 器件 加工 方法
【主权项】:
一种氮化镓器件的加工方法,其特征在于,该方法包括:在所述氮化镓器件的表面垫积一层氧化层,使得所述氮化镓器件的台阶的侧壁上的氧化层与所述氮化镓器件的表面之间的角度大于90°,所述氧化层的材质为电绝缘材质;对所述氧化层进行刻蚀,以保留所述氮化镓器件的台阶的侧壁上的氧化层、并去除掉所述台阶的侧壁之外的其他部分的氧化层。
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