[发明专利]一种连续式扩散炉及其通气方法无效
| 申请号： | 201310163068.7 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103225111A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 陆利新;郑荣豪;陈荣莲 | 申请（专利权）人： | 上海煦康电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种连续式扩散炉，包括：两端开口的炉体；一端开口、另一端封闭的第一进气管，第一进气管固定设置在炉体的腔内壁，第一进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；一端开口、另一端封闭的第二进气管，第二进气管固定设置在炉体的腔内壁，第二进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁；排气管，固定设置在炉体腔内壁，排气管两端均开口，并向排气管两端提供有负压，排气管的管壁上开设有若干小孔，小孔远离炉体的腔内壁。本发明提供的连续式扩散炉的通气方法，实现了同一批次的硅片周围反应气体密度一致，硅片结成的PN结较为均匀，同时使用两个通气管通气，避免了通气管孔堵塞。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 连续 扩散 及其 通气 方法 | ||
【主权项】：
一种连续式扩散炉，其特征在于，包括：两端开口的炉体；一端开口、另一端封闭的第一进气管，所述第一进气管固定设置在所述炉体的腔内壁，所述第一进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，所述小孔远离所述炉体的腔内壁；一端开口、另一端封闭的第二进气管，所述第二进气管固定设置在所述炉体的腔内壁，所述第二进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，所述小孔远离所述炉体的腔内壁；排气管，固定设置在所述炉体腔内壁，所述排气管两端均开口，并向所述排气管两端提供有负压，所述排气管的管壁上开设有若干小孔，所述小孔远离所述炉体的腔内壁。
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