[发明专利]一种连续式扩散炉及其通气方法无效
| 申请号： | 201310163068.7 | 申请日： | 2013-05-06 |
| 公开（公告）号： | CN103225111A | 公开（公告）日： | 2013-07-31 |
| 发明（设计）人： | 陆利新;郑荣豪;陈荣莲 | 申请（专利权）人： | 上海煦康电子科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B31/10 | 分类号： | C30B31/10;C30B31/16 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑玮 |
| 地址： | 200233 上海市*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 连续 扩散 及其 通气 方法 | ||
1.一种连续式扩散炉，其特征在于，包括：
两端开口的炉体；
一端开口、另一端封闭的第一进气管，所述第一进气管固定设置在所述炉体的腔内壁，所述第一进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，所述小孔远离所述炉体的腔内壁；
一端开口、另一端封闭的第二进气管，所述第二进气管固定设置在所述炉体的腔内壁，所述第二进气管的管壁上均匀开设有若干小孔，所述小孔远离所述炉体的腔内壁；
排气管，固定设置在所述炉体腔内壁，所述排气管两端均开口，并向所述排气管两端提供有负压，所述排气管的管壁上开设有若干小孔，所述小孔远离所述炉体的腔内壁。
2.如权利要求1所述的连续式扩散炉，其特征在于，所述第一进气管与所述第二进气管相对设置。
3.如权利要求1所述的连续式扩散炉，其特征在于，所述第一进气管的开口端弯曲并沿所述炉体的端面径向向外方向设置。
4.如权利要求3所述的连续式扩散炉，其特征在于，所述第一进气管呈“L”型。
5.如权利要求1所述的连续式扩散炉，其特征在于，所述第二进气管的开口端弯曲并沿所述炉体的端面径向向外方向设置。
6.如权利要求5所述的连续式扩散炉，其特征在于，所述第二进气管呈“L”型。
7.如权利要求1所述的连续式扩散炉，其特征在于，所述排气管设置在炉体腔内的底部。
8.一种利用如权利要求1所述的连续式扩散炉的通气方法，其特征在于，包括：
向第一进气管通入小氮气和三氯氧磷，向第二进气管通入大氮气和氧气；
所述小氮气和三氯氧磷从所述第一进气管管壁的小孔逸出进入炉体腔体，所述大氮气和氧气从所述第二进气管管壁的小孔逸出进入炉体腔体；
利用三氯氧磷以及氧气对所述扩散炉内的硅片进行磷扩散；
将反应后的废气通过排气管排出。
所述第一进气管与所述第二进气管相对设置。
9.如权利要求8所述的连续式扩散炉的通气方法，其特征在于，所述第一进气管的开口端弯曲并沿所述炉体的端面径向向外方向设置。
10.如权利要求9所述的连续式扩散炉的通气方法，其特征在于，所述第一进气管呈“L”型。
11.如权利要求8所述的连续式扩散炉的通气方法，其特征在于，所述第二进气管的开口端弯曲并沿所述炉体的端面径向向外方向设置。
12.如权利要求11所述的连续式扩散炉的通气方法，其特征在于，所述第二进气管呈“L”型。
13.如权利要求8所述的连续式扩散炉的通气方法，其特征在于，所述排气管设置在炉体腔内的底部。
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