[发明专利]MEMS结构中的可调节通风口有效
| 申请号： | 201310159227.6 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103297883A | 公开（公告）日： | 2013-09-11 |
| 发明（设计）人： | A·德黑;M·武尔泽 | 申请（专利权）人： | 英飞凌科技股份有限公司 |
| 主分类号： | H04R1/08 | 分类号： | H04R1/08 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 王岳;李浩 |
| 地址： | 德国瑙伊比*** | 国省代码： | 德国;DE |
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| 摘要： | 本发明涉及MEMS结构中的可调节通风口。公开了一种MEMS结构和一种用于操作MEMS结构的方法。根据本发明的一个实施例，一种MEMS结构包括基片，背板和包括第一区域和第二区域的薄膜，其中第一区域被配置为感测信号而第二区域被配置为将阈值频率从第一值调节到第二值，并且其中所述背板和所述薄膜被机械地连接到所述基片。 | ||
| 搜索关键词： | mems 结构 中的 调节 通风口 | ||
【主权项】：
一种MEMS结构，包括：基片；背板；以及包括第一区域和第二区域的薄膜，其中第一区域被配置为感测信号而第二区域被配置为将阈值频率从第一值调节到第二值，并且其中所述背板和所述薄膜被机械地连接到所述基片。
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