[发明专利]同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置及调整方法有效
| 申请号： | 201310156306.1 | 申请日： | 2013-05-02 |
| 公开（公告）号： | CN103257141A | 公开（公告）日： | 2013-08-21 |
| 发明（设计）人： | 彭滟;朱亦鸣;陈向前;周云燕;方丹;洪淼;庄松林 | 申请（专利权）人： | 上海理工大学 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;G02B27/10 |
| 代理公司： | 上海申汇专利代理有限公司 31001 | 代理人： | 吴宝根 |
| 地址： | 200093 *** | 国省代码： | 上海;31 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明涉及一种同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置及调整方法，包括激光光源，隔离器，透镜，旋转底座，分束片，衰减片，CCD图像传感器，样品台，二维步进电机，第一反射镜，第二反射镜，第三反射镜，光垃圾桶；分束片固定在旋转底座上，样品台固定在二维电机上；激光光源发出的激光沿水平方向依次经过隔离器、透镜、分束片聚焦样品台上，分束片下方，与激光垂直方向依次排衰减片和CCD图像传感器，经分束片反射激光垂直向上依次经过第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜后光反射回样品背面，光垃圾桶为移动件，用于遮挡光路。通过移动光垃圾桶和调整分束片方向，实现泵浦光斑与反射及透射型样品表面微结构的监测，构成简单，容易操作。 | ||
| 搜索关键词： | 同步 监测 光斑 样品 表面 微结构 装置 调整 方法 | ||
【主权项】：
一种同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置，其特征在于，包括激光光源，隔离器，透镜，旋转底座，分束片，衰减片，CCD图像传感器，样品台，二维步进电机，第一反射镜，第二反射镜，第三反射镜，光垃圾桶；分束片固定在旋转底座上，可随旋转底座旋转角度，样品台固定在二维电机上；激光光源发出的激光沿水平方向依次经过隔离器、透镜、分束片聚焦样品台上，分束片下方，与激光垂直方向依次排衰减片和CCD图像传感器，经分束片反射激光垂直向上依次经过第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜后光反射回样品背面，光垃圾桶为移动件，用于遮挡光路。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于上海理工大学，未经上海理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201310156306.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
