[发明专利]同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置及调整方法

权利要求书

1.一种同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置，其特征在于，包括激光光源，隔离器，透镜，旋转底座，分束片，衰减片，CCD图像传感器，样品台，二维步进电机，第一反射镜，第二反射镜，第三反射镜，光垃圾桶；分束片固定在旋转底座上，可随旋转底座旋转角度，样品台固定在二维电机上；激光光源发出的激光沿水平方向依次经过隔离器、透镜、分束片聚焦样品台上，分束片下方，与激光垂直方向依次排衰减片和CCD图像传感器，经分束片反射激光垂直向上依次经过第一反射镜、第二反射镜、第三反射镜后光反射回样品背面，光垃圾桶为移动件，用于遮挡光路。

2.根据权利要求1所述同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置，其特征在于，所述二维电机选用左右和上下移动的二维步进电机。

3.同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置调整方法，包括同步监测泵浦光斑与样品表面微结构的装置，其特征在于，具体包括如下调整步骤：

1）监测泵浦光斑：转动旋转底座将分束片转至与入射激光成45度夹角处，将光垃圾桶放置在样品台前，激光通过分束片，一部分光束被反射经衰减片进入CCD图像传感器，通过CCD图像传感器监测捕捉泵浦光斑，另一部分光束透过分束片进入光垃圾桶中；

2）反射型材料的表面微结构监测：转动旋转底座将分束片转至与入射激光成135度夹角处，用光垃圾桶挡在分束片正上方，第一反射镜前；激光通过分束片，一部分光束透过分束片打在样品台上的样品上；部分激光被反射回来，经分束片反射后再经衰减片进入CCD图像传感器，通过CCD图像传感器监测采样样品表面微结构；另一部分光束将透过分束片进入隔离器；

3）透射型材料的表面微结构监测：移出光垃圾桶，转动旋转底座将分束片转至与入射激光成135度夹角处，激光通过分束片，一部分光束透过分束片打在样品台上的样品上，另一部分光束则被反射到第一反射镜上，再经第二反射镜和第三反射镜，最终将这部分光束反射至样品的背面，透过样品再次被分束片反射经衰减片进入CCD图像传感器，通过CCD图像传感器监测采样样品表面微结构，多余光进入隔离器。