[发明专利]光谱仪、包含该光谱仪的图像评价单元和图像形成装置有效
申请号: | 201310156285.3 | 申请日: | 2013-03-08 |
公开(公告)号: | CN103308169A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 上条直裕;新保晃平;窪田阳一;瀬尾学 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光 |
主分类号: | G01J3/42 | 分类号: | G01J3/42;G03G15/01;G02B26/10 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王冉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 一种光谱仪,包括将光束投射至目标物的光源;包括多个孔径的光学元件,其中被目标物反射的光束传输通过该孔径;用于从传输通过该光学元件的多个光束中形成衍射图像的衍射元件;和光接收元件,用于接收由衍射元件形成的衍射图像,且包括以遮蔽除了特定级数衍射图像以外的衍射图像的光学屏蔽。 | ||
搜索关键词: | 光谱仪 包含 图像 评价 单元 形成 装置 | ||
【主权项】:
一种光谱仪,包括:将光束投射至目标物的光源;包括多个孔径的光学元件,其中被所述目标物反射的光束通过该孔径透射;从透射过所述光学元件的多个光束形成衍射图像的衍射元件;以及光接收元件,该光接收元件接收由所述衍射元件形成的衍射图像,且包括光学屏蔽以遮蔽除了特定级数衍射图像以外的衍射图像。
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