[发明专利]光谱仪、包含该光谱仪的图像评价单元和图像形成装置有效
申请号: | 201310156285.3 | 申请日: | 2013-03-08 |
公开(公告)号: | CN103308169A | 公开(公告)日: | 2013-09-18 |
发明(设计)人: | 上条直裕;新保晃平;窪田阳一;瀬尾学 | 申请(专利权)人: | 株式会社理光 |
主分类号: | G01J3/42 | 分类号: | G01J3/42;G03G15/01;G02B26/10 |
代理公司: | 北京市柳沈律师事务所 11105 | 代理人: | 王冉 |
地址: | 日本*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 光谱仪 包含 图像 评价 单元 形成 装置 | ||
1.一种光谱仪,包括:
将光束投射至目标物的光源;
包括多个孔径的光学元件,其中被所述目标物反射的光束通过该孔径透射;
从透射过所述光学元件的多个光束形成衍射图像的衍射元件;以及
光接收元件,该光接收元件接收由所述衍射元件形成的衍射图像,且包括光学屏蔽以遮蔽除了特定级数衍射图像以外的衍射图像。
2.根据权利要求1的光谱仪,其中所述光接收元件包括多个孔径,其中只有所述特定级数的衍射图像传输通过该孔径透射。
3.根据权利要求1的光谱仪,其中所述光学元件的孔径和所述光学接收元件的孔径设置为相互关联。
4.根据权利要求1或3的光谱仪,其中所述光学元件的孔径二维地设置为平行于包括特定轴的虚拟平面,并且在平行于该特定轴的方向上,位置彼此不同。
5.根据权利要求4的光谱仪,其中所述光接收元件的孔径二维地设置为平行于所述虚拟平面,并且在平行于该特定轴的方向上,位置彼此不同。
6.根据权利要求1或4的光谱仪,进一步包括具有多个透镜的透镜阵列,其与光学元件的孔径相关联地设置。
7.根据权利要求1-6中任一项的光谱仪,进一步包括成像元件,其位于光学元件和衍射元件之间的光束路径上。
8.根据权利要求7的光谱仪单元,其中成像元件具有像方远心光学特性。
9.一种用于评价介质上的图像质量的图像评价单元,包括:
根据权利要求1-8中任一项的光谱仪,以对图像进行光谱分析;
在与来自光源单元的光束的行进方向相交的方向上相对地移动介质和光谱仪的移动机构;以及
根据光谱仪的光接收元件的输出信号来评价图像的处理器。
10.一种在基于图像数据的条件下形成图像的图像形成装置光谱仪,包括:
根据权利要求1-8中任一项的光谱仪;和
根据光谱仪的光接收元件的输出信号来调节条件的控制器。
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