[发明专利]一种等离子体辐照平台

摘要

本发明涉及一种等离子体辐照平台，属于等离子体应用技术领域，其包括离子源、腔体和激光加热系统，所述离子源密封在腔体内，激光加热系统在腔体外，所述离子源包括石英管、缠绕在石英管外壁上的铜管和用于屏蔽射频电场的屏蔽罩，石英管和缠绕在石英管外壁上的铜管置于屏蔽罩内，石英管上端设有进气口，石英管下端设有离子喷射口，所述铜管两端在腔体外与射频电源两端连接，所述屏蔽罩底部设有通孔，所述腔体内设有样品台，样品台位于离子源正下方，样品台正下方设有石英窗，石英窗与腔体密封连接，所述激光加热系统包括组合式激光器，组合式激光器固定在石英窗正下方，本发明有益效果为设备简单，具有成本低廉、实验周期短、实验效率高优点。

主权项

一种等离子体辐照平台，其特征在于：所述等离子体辐照平台包括离子源（1）、腔体（2）和激光加热系统（3），所述离子源（1）密封在腔体（2）内，所述激光加热系统（3）在腔体（2）外，所述离子源（1）包括石英管（11）、缠绕在石英管外壁上的铜管（12）和用于屏蔽射频电场的屏蔽罩（13），所述石英管（11）和缠绕在石英管外壁上的铜管（12）置于屏蔽罩（13）内，所述石英管（11）上端设有与腔体外连通的进气口（111），石英管（11）下端设有离子喷射口（112），所述铜管（12）两端在腔体（2）外与射频电源两端连接，所述屏蔽罩（3）底部设有用于通过等离子体的通孔（131），所述腔体（2）内设有样品台（21），样品台（21）位于离子源（1）正下方，样品台（21）正下方设有石英窗（22），所述石英窗（22）与腔体（2）密封连接，所述激光加热系统（3）包括组合式激光器（31），组合式激光器（31）固定在石英窗（22）正下方。