[发明专利]全自动多功能晶元机无效
申请号: | 201310153211.4 | 申请日: | 2013-04-28 |
公开(公告)号: | CN103253002A | 公开(公告)日: | 2013-08-21 |
发明(设计)人: | 卢冬青 | 申请(专利权)人: | 上海功源电子科技有限公司 |
主分类号: | B41J3/407 | 分类号: | B41J3/407;B41J2/435;H01L21/67 |
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地址: | 201100 上海市*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 一种全自动多功能晶元机,包括:在晶元片的缺口处或固定位置用激光打码,可以方便后序生产工艺中的数据统计和检测;其特征在于:晶元盒通过锁定机构固定,搬运手取料盒一片晶元,送至升降台,升降台上升至激光打码位置,通过CCD视觉检测,确定缺口位置,发送偏移量和偏移角度至激光控制主机,调整打码位置和角度,打码完成后升降台下降,搬运手取晶元,送回料盒;搬运手和升降台都有真空吸附功能,当遇到破片时,搬运手或升降台真空无法维持,请求手动处理;机构的控制通过PCBASE实现。本发明有益效果是:便捷的基于PCBASE控制技术和CCD视频检测技术,满足快速、安全、高效的要求。 | ||
搜索关键词: | 全自动 多功能 晶元机 | ||
【主权项】:
一种全自动多功能晶元机,包括:在晶元片的缺口处或固定位置用激光打码,可以方便后序生产工艺中的数据统计和检测;其特征在于:晶元盒通过锁定机构固定,搬运手取料盒一片晶元,送至升降台,升降台上升至激光打码位置,通过CCD视觉检测,确定缺口位置,发送偏移量和偏移角度至激光控制主机,调整打码位置和角度,打码完成后升降台下降,搬运手取晶元,送回料盒;在此过程中,搬运手和升降台都有真空吸附功能,当遇到破片时,搬运手或升降台真空无法维持,请求手动处理。
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