[发明专利]一种用于电子束轨迹控制的电磁偏转装置及其应用

摘要

本发明涉及一种用于电子束轨迹控制的电磁偏转装置及其应用，属于电磁学领域。该装置的励磁电源在电子束加工装置真空室外，磁场发生装置在真空室内，磁轭呈封闭型，铁芯在磁轭内部对称分布并固定在磁轭上；空心线圈固定在铁芯上；铁芯之间的气隙空间放置零件，零件位于电子束加工装置电子枪正下方；磁场发生装置通过线圈抽头用穿墙插头与励磁电源连接；霍尔磁场探测器的探头放在气隙空间中，通过穿墙插头与真空室外的处理显示单元连接。该装置用于控制电子束的运动轨迹以满足特殊形状零件的加工，可对产生的磁场实时检测并调整，使磁场强度满足加工要求，可通过穿墙插头与现有电子束加工装置直接集成使用，应用范围广泛且经济价值高。

主权项

一种用于电子束轨迹控制的电磁偏转装置，其特征在于：所述装置包括励磁电源（1）、磁场发生装置和霍尔磁场探测器；励磁电源（1）为电压0V～60V连续可调，电流1A～10A连续可调的直流稳压稳流电源，励磁电源（1）放置在电子束加工装置的真空室外；磁场发生装置包括磁轭（2）、铁芯（3）和线圈（4），磁轭（2）呈封闭型，铁芯（3）在磁轭（2）内部对称分布，并固定在磁轭（2）上；线圈（4）为空心线圈，固定在铁芯（3）上；磁场发生装置放置在所述真空室内，铁芯（3）之间的气隙空间放置被加工零件，被加工零件位于电子束加工装置的电子枪的正下方；磁场发生装置通过线圈（4）的抽头利用穿墙插头与励磁电源（1）连接；霍尔磁场探测器包括探头（5）和处理显示单元（6），探头（5）安装在所述气隙空间中，处理显示单元（6）放置在所述真空室外，探头（5）和处理显示单元（6）通过穿墙插头连接。