[发明专利]一种用于电子束轨迹控制的电磁偏转装置及其应用

权利要求书

1.一种用于电子束轨迹控制的电磁偏转装置，其特征在于：所述装置包括励磁电源（1）、磁场发生装置和霍尔磁场探测器；

励磁电源（1）为电压0V～60V连续可调，电流1A～10A连续可调的直流稳压稳流电源，励磁电源（1）放置在电子束加工装置的真空室外；

磁场发生装置包括磁轭（2）、铁芯（3）和线圈（4），磁轭（2）呈封闭型，铁芯（3）在磁轭（2）内部对称分布，并固定在磁轭（2）上；线圈（4）为空心线圈，固定在铁芯（3）上；磁场发生装置放置在所述真空室内，铁芯（3）之间的气隙空间放置被加工零件，被加工零件位于电子束加工装置的电子枪的正下方；磁场发生装置通过线圈（4）的抽头利用穿墙插头与励磁电源（1）连接；

霍尔磁场探测器包括探头（5）和处理显示单元（6），探头（5）安装在所述气隙空间中，处理显示单元（6）放置在所述真空室外，探头（5）和处理显示单元（6）通过穿墙插头连接。

2.一种如权利要求1所述的用于电子束轨迹控制的电磁偏转装置的应用，其特征在于：步骤如下：

B1=3.37×10-4U1r---(I),]]>

B₁为理论磁场强度，U₁为电子枪的加速电压，r为电子束的偏转半径；

I₁N=10³B₁L/4π      （Ⅱ），

I₁为第一理论励磁电流，N为线圈（4）匝数，L为气隙空间的长度；B₁由公式（Ⅰ）计算得到，代入公式（Ⅱ）可以计算得到I₁；

U₂=I₂R      （Ⅲ），

U₂为理论励磁电压，I₂为第二理论励磁电流，R为线圈（4）电阻，由于磁阻和漏磁损失，I₂为I₁的1.5倍；

调节励磁电源（1）输出的励磁电流I₃等于I₂，励磁电压U₃等于U₂，用探头（5）对磁场进行测量，处理显示单元（6）显示测量得到的实际磁场强度B₂，将B₂与B₁进行比较，如果数值相等，则不用调节；如果数值不相等，需调节I₃或U₃，使B₂变化，直至处理显示单元（6）显示B₂与B₁相等。