[发明专利]聚酰亚胺膜固化方法有效
| 申请号： | 201310135725.7 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN104107794A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 徐春云 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提供一种聚酰亚胺膜固化方法，其包括如下步骤：将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至100℃～140℃，保温0.5～1小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至190℃～210℃，保温1～2小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至295℃～305℃，保温1.8～2.5小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度冷却至常温。该聚酰亚胺膜固化方法采用分段控制温度的方法使聚酰亚胺膜内的水分、溶剂等可以充分挥发，这样固化后的聚酰亚胺膜在经过后续的光刻、腐蚀、退火等工艺处理后就不会出现鼓泡或者膜脱落现象。 | ||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 固化 方法 | ||
【主权项】：
一种聚酰亚胺膜固化方法，其特征在于，所述聚酰亚胺膜固化方法包括如下步骤：将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至100℃～140℃，保温0.5～1小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至190℃～210℃，保温1～2小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至295℃～305℃，保温1.8～2.5小时；将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度冷却至常温。
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