[发明专利]聚酰亚胺膜固化方法有效
| 申请号： | 201310135725.7 | 申请日： | 2013-04-18 |
| 公开（公告）号： | CN104107794A | 公开（公告）日： | 2014-10-22 |
| 发明（设计）人： | 徐春云 | 申请（专利权）人： | 无锡华润上华半导体有限公司 |
| 主分类号： | B05D3/02 | 分类号： | B05D3/02 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 邓云鹏 |
| 地址： | 214028 江苏省无*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 聚酰亚胺 固化 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种聚酰亚胺膜固化方法，其特征在于，所述聚酰亚胺膜固化方法包括如下步骤：
将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至100℃～140℃，保温0.5～1小时；
将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至190℃～210℃，保温1～2小时；
将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度升高至295℃～305℃，保温1.8～2.5小时；
将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度冷却至常温。
2.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜固化方法，其特征在于，所述将旋涂有聚酰亚胺膜的产品放置在100℃～140℃的温度环境中保持0.5～1小时的步骤之前还包括将旋涂有聚酰亚胺膜的产品放置在60℃～80℃的温度环境中。
3.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜固化方法，其特征在于，所述聚酰亚胺膜固化方法的所有步骤是在烘箱中进行的。
4.根据权利要求1所述的聚酰亚胺膜固化方法，其特征在于，所述将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度冷却至常温的步骤是通过自然冷却的方法将旋涂有聚酰亚胺膜的产品所在环境温度冷却至常温的。
5.根据权利要求1至4中任一项权利要求所述的聚酰亚胺膜固化方法，其特征在于，所述聚酰亚胺膜所使用的聚酰亚胺的型号为PI2610。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于无锡华润上华半导体有限公司，未经无锡华润上华半导体有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201310135725.7/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：狭缝模具涂布方法
- 下一篇：一种自动转台驱动结构
