[发明专利]一种自组装三维碳化铪晶须网络结构的制备方法

摘要

本发明涉及一种自组装三维碳化铪晶须网络结构的制备方法，没有使用三维网络结构的模版，直接通过催化剂辅助的化学气相沉积方法首次在2D针刺碳毡的表面制备了自组装的三维HfC晶须网络结构，所制得的产物相比模版法引入的其他元素的杂质含量少。

主权项

一种自组装三维碳化铪晶须网络结构的制备方法，其特征在于步骤如下：步骤1：配制浓度为0.05～2mol/L的Ni(NO3)2或NiCl2的乙醇溶液；步骤2：将清洗干净的2D针刺碳毡放在步骤1配制的溶液中浸泡1～2h，然后取出2D针刺碳毡放在40～55℃的干燥箱内烘干；步骤3：将步骤2烘干的2D针刺碳毡放于管式电阻炉内的沉积模具中，抽真空至2kPa，通入惰性氩气作为保护气体；以5～10℃/min的升温速度将炉温升至1200～1400℃，然后通入H2、HfCl4和CH4气体，控制H2、HfCl4和CH4的分压分别为0.80～0.98，0.10～0.01，0.10～0.01；调节真空泵抽速，将CVD炉内的沉积压力控制在2kPa～30kPa；沉积时间为2～10h；沉积结束后停止通入反应气体，关闭加热电源自然降温，在2D针刺碳毡沉积表面制得自组装三维HfC晶须网络结构。