[发明专利]在等离子体室中检测电弧的方法和装置在审
| 申请号： | 201310124037.0 | 申请日： | 2013-02-28 |
| 公开（公告）号： | CN103474321A | 公开（公告）日： | 2013-12-25 |
| 发明（设计）人： | 崔相敦 | 申请（专利权）人： | 株式会社新动力等离子体 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/244 |
| 代理公司： | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人： | 戚传江;穆德骏 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明提供了在等离子体室中检测电弧的方法和装置。根据本发明的用于检测等离子体室中电弧的装置被设计为检测供应给等离子体室的RF功率的相应的电压和电流值，并计算该电压和电流值的比例以实现对功率的供应的所需控制。当确定电弧产生时，该装置快速控制功率的供应以防止由于电弧的产生而对等离子体室的损伤以及对要被处理的材料造成污染。 | ||
| 搜索关键词： | 等离子体 检测 电弧 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种用于检测等离子体室中的电弧的装置，包括：电压传感器，所述电压传感器用于检测由电源供应到所述等离子体室的射频(RF)功率的电压值；电流传感器，所述电流传感器用于检测所述RF功率的电流值；电压和电流比例检测电路，所述电压和电流比例检测电路用于接收由所述电压传感器和所述电流传感器检测到的电压和电流值，以计算电压和电流比例；以及控制器，所述控制器用于基于在所述电压和电流比例检测电路中计算的所述电压和电流比例确定电弧是否产生。
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