[发明专利]物理量传感器以及电子设备

摘要

一种物理量传感器以及电子设备，其能够在实现小型化的同时，具有良好的噪声特性。物理量传感器包括：基板；可动体，具有第一部分及第二部分，并在第一部分上设置有第一可动电极部；梁部，以使可动体可位移的方式对可动体进行支承；第一固定电极部，以与第一可动电极部对置的方式被配置在基板上；第一部分在与第一轴正交的第二轴的方向上的宽度小于，第二部分在第二轴的方向上的宽度，第一固定电极部被设置于，在俯视观察时与第一部分的第二轴的方向上的端部重叠的位置处，且当将第一部分的第二轴的方向上的宽度设定为X，并将第一固定电极部的在俯视观察时与可动体重叠的部分的、第二轴的方向上的宽度设定为L时，被设置在0.0500X≤L≤0.816X的范围内。

主权项

1.一种物理量传感器，包括：可动体，其在第一方向上具有第一轴以作为旋转轴，且以所述第一轴为界而被划分为第一部分以及第二部分，在所述第一部分中，具备在向包括所述第一方向和与所述第一方向正交的第二方向的平面进行的俯视观察时沿所述第一方向延伸的第一外缘和沿所述第二方向延伸的第二外缘，并且沿着所述第一外缘而设置有第一可动电极部；梁部，其位于所述第一轴上，且对所述可动体进行支承；第一固定电极部，其被设置在基板上，且沿着所述第一外缘延伸，并以与所述第一可动电极部对置的方式而与所述可动体分离，所述第一固定电极部在所述俯视观察时与所述可动体的所述第一外缘重叠，当将所述第一部分在与所述第一方向正交的第二方向上的宽度设定为X，并将所述第一固定电极部的在所述俯视观察时与所述可动体重叠的部分在所述第二方向上的宽度设定为L时，所述第一固定电极部被设置在0.0500X≤L≤0.816X的范围内，所述第一固定电极具有在所述俯视观察时于所述第二方向上从所述第一外缘露出的部分，且具有在所述俯视观察时于所述第一方向上从所述第二外缘露出的部分。