[发明专利]一种量测图案化衬底的量测方法无效
| 申请号： | 201310119340.1 | 申请日： | 2013-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103196400A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 盛建明;江成龙;涂亮亮;石剑舫 | 申请（专利权）人： | 常州同泰光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区高新技术产业开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种量测图形化衬底图形的方法，主要用于测试在平滑衬底上进行规则图形化后图形尺寸的量测；方法中利用扫描电子显微镜（SEM）作为测试工具，但测试过程没有按照普通裂片的制样方式进行，而是将整片无损伤地进行测试；测试中将样品进行一定角度倾斜，量测倾斜后的成像尺寸，经过一定运算可以得到所测样品实际图形尺寸。本发明介绍的方法给出了SEM在高度测试中新的形式，开启了图形化衬底图形尺寸的无损伤测试模式，既节约了成本又简化了测试中制样的流程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 图案 衬底 方法 | ||
【主权项】：
一种量测图案化衬底的量测方法，其特征在于包括以下步骤：1）将样品整片放置在扫描电子显微镜SEM承载台上；2）旋转SEM承载台一定的角度m；3）分别记录旋转后样片图形的高度h，水平夹角α，通过公式得到图形实际高度H与h，α，m之间的关系，计算得出实际高度H。
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