[发明专利]一种量测图案化衬底的量测方法无效
| 申请号： | 201310119340.1 | 申请日： | 2013-04-08 |
| 公开（公告）号： | CN103196400A | 公开（公告）日： | 2013-07-10 |
| 发明（设计）人： | 盛建明;江成龙;涂亮亮;石剑舫 | 申请（专利权）人： | 常州同泰光电有限公司 |
| 主分类号： | G01B15/00 | 分类号： | G01B15/00 |
| 代理公司： | 常州市维益专利事务所 32211 | 代理人： | 路接洲 |
| 地址： | 213000 江苏省常州市武进区高新技术产业开*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 图案 衬底 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种量测图案化衬底的量测方法，其特征在于包括以下步骤：
1）将样品整片放置在扫描电子显微镜SEM承载台上；
2）旋转SEM承载台一定的角度m；
3）分别记录旋转后样片图形的高度h，水平夹角α，通过公式得到图形实际高度H与h，α，m之间的关系，计算得出实际高度H。
2.如权利要求1所述的一种量测图案化衬底的量测方法，其特征在于：所述的实际高度H与h，α，m之间的关系是：
3.如权利要求1所述的一种量测图案化衬底的量测方法，其特征在于：所述的待测样品为具有圆锥形图案的图形化衬底，其正视图为等腰三角形；所述的实际高度H与h，α，m之间的关系是：
4.如权利要求1所述的一种量测图案化衬底的量测方法，其特征在于：所述的测试中的SEM的探头保持不变，图形与水平夹角α为恒定值。
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