[发明专利]一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法有效
申请号: | 201310113289.3 | 申请日: | 2013-04-02 |
公开(公告)号: | CN104104006B | 公开(公告)日: | 2017-04-19 |
发明(设计)人: | 宗楠;杨峰;徐志;张申金;彭钦军;许祖彦;王志敏 | 申请(专利权)人: | 中国科学院理化技术研究所 |
主分类号: | H01S3/109 | 分类号: | H01S3/109;H01S3/094;G02F1/37;G02F1/355 |
代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司11002 | 代理人: | 王莹 |
地址: | 100190 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明提供一种直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置及方法,该装置包括激光泵浦源、直接倍频器件、真空腔和功率测量系统;还包括光束整形系统和四维预调节平转台;其中所述激光泵浦源为窄线宽全固态紫外激光泵浦源;所述光束整形系统位于激光泵浦源和真空腔之间;所述四维预调节平转台固定在真空腔内;所述直接倍频器件固定于所述转接板上;该方法为先实现低功率泵浦条件下相位匹配,在此基础上预先调节直接倍频器件角度,预先实现高功率条件下相位匹配。本发明可实现高功率百毫瓦及瓦级真空紫外激光输出,产生的真空紫外激光具有线宽窄、倍频转换效率高、倍频输出功率高,在高功率下输出功率稳定,可实用化等特点。 | ||
搜索关键词: | 一种 直接 倍频 产生 功率 真空 紫外 激光 装置 方法 | ||
【主权项】:
采用直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置产生高功率真空紫外激光的方法,其特征在于,所述直接倍频产生高功率真空紫外激光的装置包括:激光泵浦源(1)、直接倍频器件(3)、真空腔(5)和功率测量系统(6),所述直接倍频器件和功率测量系统位于真空腔内;其特征在于,所述装置还包括光束整形系统(2)和四维预调节平转台(4);其中所述激光泵浦源为窄线宽全固态紫外激光泵浦源;所述光束整形系统位于激光泵浦源和真空腔之间;所述四维预调节平转台固定在真空腔内,包括三维电动平移台、一维电动旋转台及相应的转接板;所述直接倍频器件固定于所述转接板上;所述方法包括:S1、调节窄线宽全固态紫外激光泵浦源(1)输出低功率窄线宽紫外泵浦光,经过光束整形系统(2)整形后入射进真空腔(5)中的直接倍频器件(3);S2、利用功率测量系统(6)监测真空紫外激光功率,同时调节四维预调节平转台(4)的参数,确保泵浦光避开直接倍频器件的缺陷部位,实现低功率泵浦条件下基频光与倍频光的相位匹配;S3、关闭激光泵浦源(1),调节四维预调节平转台(4),减小晶体入射角度,预先实现高功率泵浦条件下基频光与倍频光的相位匹配;S4、保持直接倍频器件(3)不动,调节激光泵浦源(1)输出高功率窄线宽紫外泵浦光,打开泵浦源挡板,获得真空紫外激光;所述低功率窄线宽紫外泵浦光中的低功率即泵浦功率≤0.5W;所述高功率真空紫外激光中的高功率即泵浦功率≥5W;所述窄线宽全固态紫外激光泵浦发出光束的线宽≤10pm。
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