[发明专利]局域等离子体谐振折射率传感器及其制造方法有效

专利信息
申请号: 201310111228.3 申请日: 2013-04-01
公开(公告)号: CN103196867A 公开(公告)日: 2013-07-10
发明(设计)人: 金崇君;沈杨;周建华 申请(专利权)人: 中山大学
主分类号: G01N21/41 分类号: G01N21/41
代理公司: 广州新诺专利商标事务所有限公司 44100 代理人: 张玲春
地址: 510275 广东省广州市海珠区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种局域等离子体谐振折射率传感器及其制造方法,局域等离子体谐振折射率传感器包括上层金属帽、介质柱和下层金属孔阵,介质柱可以是光刻胶等低折射率电介质,介质柱位于上层金属帽和下层金属孔阵之间。本发明通过调整入射角度、金属颗粒以及周期的大小、和颗粒抬升的高度,品质因数可以达到100,可以广泛应用到实际的生化传感中。本发明制备技术简单,成本低廉,适用于大批量生产。
搜索关键词: 局域 等离子体 谐振 折射率 传感器 及其 制造 方法
【主权项】:
一种局域等离子体谐振折射率传感器,其特征在于其包括:上层金属帽、介质柱和下层金属孔阵,介质柱位于上层金属帽和下层金属孔阵之间。
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