[发明专利]抗蚀剂剥离组合物及利用该抗蚀剂剥离组合物剥离抗蚀剂的方法有效
| 申请号： | 201310109886.9 | 申请日： | 2013-03-29 |
| 公开（公告）号： | CN103365121B | 公开（公告）日： | 2018-10-02 |
| 发明（设计）人： | 金圣植;高京俊;金正铉;慎蕙蠃;李喻珍 | 申请（专利权）人： | 东友精细化工有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 张颖玲;徐川 |
| 地址： | 韩国全*** | 国省代码： | 韩国;KR |
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| 摘要： | 本发明公开一种抗蚀剂剥离组合物，包括：(a)化学通式1表示的羟基二氧戊环化合物；以及(b)碱性化合物。 | ||
| 搜索关键词： | 抗蚀剂 剥离 组合 利用 方法 | ||
【主权项】：
1.一种抗蚀剂剥离组合物，包括：80至99.9wt％的(a)下述化学通式1表示的羟基二氧戊环化合物；以及0.1至20wt％的(b)碱性化合物；[化学通式1]![]()
其中R1和R2各自独立为氢、1至5个碳原子的烷基、2至5个碳原子的烯基、1至5个碳原子的羟烷基或苯基，并且R3为1至4个碳原子的亚烷基、2至5个碳原子的亚烯基或1至5个碳原子的羟基亚烷基。
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