[发明专利]抗蚀剂剥离组合物及利用该抗蚀剂剥离组合物剥离抗蚀剂的方法

权利要求书

1.一种抗蚀剂剥离组合物，包括：

80至99.9wt％的(a)下述化学通式1表示的羟基二氧戊环化合物；以及

0.1至20wt％的(b)碱性化合物；

[化学通式1]

其中R1和R2各自独立为氢、1至5个碳原子的烷基、2至5个碳原子的烯基、1至5个碳原子的羟烷基或苯基，并且R3为1至4个碳原子的亚烷基、2至5个碳原子的亚烯基或1至5个碳原子的羟基亚烷基。

2.一种抗蚀剂剥离组合物，包括：

77至99.89wt％的(a)下述化学通式1的羟基二氧戊环化合物；

0.1至20wt％的(b)所述碱性化合物；

[化学通式1]

其中R1和R2各自独立为氢、1至5个碳原子的烷基、2至5个碳原子的烯基、1至5个碳原子的羟烷基或苯基，并且R3为1至4个碳原子的亚烷基、2至5个碳原子的亚烯基或1至5个碳原子的羟基亚烷基；以及

进一步包括0.01至3wt％的(c)所述防腐剂。

3.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂剥离组合物，其中，(a)上述化学通式1的羟基二氧戊环化合物为选自由4-羟甲基-1,3-二氧戊环、4-羟甲基-2,2-二甲基-1,3-二氧戊环、4-羟乙基-2,2-二甲基-1,3-二氧戊环、4-羟丙基-2,2-二甲基-1,3-二氧戊环、4-羟丁基-2,2-二甲基-1,3-二氧戊环、4-羟甲基-2,2-二乙基-1,3-二氧戊环以及4-羟甲基-2-甲基-2-乙基-1,3-二氧戊环所组成的组中的一种，或两种或多于两种的混合物。

4.根据权利要求1或2所述的抗蚀剂剥离组合物，其中，(b)所述碱性化合物为选自由KOH、NaOH、TMAH(四甲基氢氧化铵)、TEAH(四乙基氢氧化铵)、碳酸盐、磷酸盐、氨以及胺所组成的组中一种，或两种或多于两种的混合物。

5.根据权利要求2所述的抗蚀剂剥离组合物，其中，(c)所述防腐剂为选自由琥珀酸酰胺酯、苹果酸酰胺酯、马来酸酰胺酯、富马酸酰胺酯、草酸酰胺酯、丙二酸酰胺酯、戊二酸酰胺酯、乙酸酰胺酯、乳酸酰胺酯、柠檬酸酰胺酯、酒石酸酰胺酯、羟乙酸酰胺酯、甲酸酰胺酯和尿酸酰胺酯；苯并三唑、甲苯基三唑、甲基甲苯基三唑、2,2’-[[[苯并三唑]甲基]亚氨基]二乙醇、2,2’-[[[甲基-1H-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]二甲醇、2,2’-[[[乙基-1H-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]二乙醇、2,2’-[[[甲基-1H-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]二乙醇、2,2’-[[[甲基-1H-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]二羧酸、2,2’-[[[甲基-1H-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]二甲胺和2,2’-[[氨基-1H-苯并三唑-1-基]甲基]亚氨基]二乙醇；1,2-对苯醌、1,4-对苯醌、1,4-萘醌和蒽醌；以及儿茶酚、邻苯三酚、没食子酸甲酯、没食子酸丙酯、没食子酸十二酯、没食子酸辛酯和没食子酸所组成的组中的一种，或两种或多于两种的混合物。

6.一种抗蚀剂剥离组合物，所述抗蚀剂剥离组合物包括：

1至99.9wt％的(a)下述化学通式1的羟基二氧戊环化合物；

0.1至20wt％的(b)所述碱性化合物；

[化学通式1]

其中R1和R2各自独立为氢、1至5个碳原子的烷基、2至5个碳原子的烯基、1至5个碳原子的羟烷基或苯基，并且R3为1至4个碳原子的亚烷基、2至5个碳原子的亚烯基或1至5个碳原子的羟基亚烷基；以及

进一步包括余量的(d)水溶性极性溶剂和(e)去离子水中的至少一种。