[发明专利]定点清洗机构

摘要

本发明涉及一种多晶硅还原炉清洗机构，尤其是一种定点清洗机构。气源管的输出端与气动三联件的输入端连接，气动三联件的输出端与电磁阀组的输入端连接，电磁阀的输出端分别与压力控制器、提升气缸连接，三维旋转喷头通过提升杆与提升气缸的活塞联动连接，提升气缸被活塞隔离成上气腔、下气腔。上述结构气动三联件在使用的时候在钟罩外，不仅可以通过控制进行任意定点清洗，而且避免了油脂对多晶硅钟罩内腔的污染，稳定了多晶硅的产品质量，克服了在酸性、碱性、水雾及爆炸性危险环境下仪表选型难的问题，消除了仪表电火花诱发的氢气爆炸问题，保证了设备使用安全，同时降低了设备制造成本。

主权项

一种定点清洗机构，其特征在于：包括气源管、气动三联件、电磁阀组、压力控制器、提升气缸、三维旋转喷头，气源管的输出端与气动三联件的输入端连接，气动三联件的输出端与电磁阀组的输入端连接，电磁阀的输出端分别与压力控制器、提升气缸连接，三维旋转喷头通过提升杆与提升气缸的活塞联动连接，提升气缸被活塞隔离成上气腔、下气腔；气动三联件是由过滤器、减压阀和油雾器组成，过滤器作为气动三联件的输入端与气源管连接，减压阀作为气动三联件的输出端与电磁阀组连接；电磁阀组包括三位五通电磁阀、二位三通电磁阀，减压阀与三位五通电磁阀连接，三位五通电磁阀与两个阻尼阀连接，两个阻尼阀分别连接一个二位三通电磁阀，两个二位三通电磁阀分别与两个压力控制器连接，两个二位三通电磁阀分别与提升气缸的上气腔、下气腔连接。