[发明专利]定点清洗机构

说明书

技术领域

本发明涉及一种多晶硅还原炉清洗机构，尤其是一种定点清洗机构。 

背景技术

多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。利用价值：从目前国际太阳电池的发展过程可以看出其发展趋势为单晶硅、多晶硅、带状硅、薄膜材料（包括微晶硅基薄膜、化合物基薄膜及染料薄膜）。 

多晶硅的制造工艺中有一个环节是利用还原炉进行还原的工序，而多晶硅还原工段钟罩清洗过程中需要定点位置清洗的，现有技术中就存在两个问题，一个是解决不了定点清洗的实际需求，另外一个是靠丝杠作为升降机构，丝杠升降因为需要油润滑，在清洗过程中对钟罩内腔造成油污染，进而影响多晶硅的品质。 

发明内容

本发明的目的在于，提供一种可以进行定点清洗、不影响多晶硅品质的定点清洗机构。 

本发明解决其技术问题所采用的技术方案是：一种定点清洗机构，包括气源管、气动三联件、电磁阀组、压力控制器、提升气缸、三维旋转喷头，气源管的输出端与气动三联件的输入端连接，气动三联件的输出端与电磁阀组的输入端连接，电磁阀的输出端分别与压力控制器、提升气缸连接，三维旋转喷头通过提升杆与提升气缸的活塞联动连接，提升气缸被活塞隔离成上气腔、下气腔。 

本发明的进一步设置为：气动三联件是由过滤器、减压阀和 油雾器，过滤器作为气动三联件的输入端与气源管连接，减压阀作为气动三联件的输出端与电磁阀组连接。 

本发明的进一步设置为：电磁阀组包括三位五通电磁阀、二位三通电磁阀，减压阀与三位五通电磁阀连接，三位五通电磁阀与阻尼阀连接，阻尼阀与二位三通电磁阀连接，二位三通电磁阀作为电磁阀组的输出端。 

本发明的进一步设置为：三位五通电磁阀与两个阻尼阀连接，两个阻尼阀分别连接一个二位三通电磁阀，两个二位三通电磁阀分别与两个压力控制器连接，两个二位三通电磁阀分别与提升气缸的上腔体、下腔体连接。 

上述结构可以用常规的仪表和控制元器件在钟罩外部外部组成一个在全行程范围内任意位置上定点清洗的控制机构，气动三联件在使用的时候在钟罩外，避免了油脂对多晶硅钟罩内腔的污染，稳定了多晶硅的产品质量，克服了在酸性、碱性、水雾及爆炸性危险环境下仪表选型难的问题，消除了仪表电火花诱发的氢气爆炸问题，保证了设备使用安全，同时降低了设备制造成本。 

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。 

图1为本发明的结构简图； 

图2为实施例的计算示意图。 

具体实施方式

参考图1可知，本发明一种定点清洗机构，包括气源管1、气动三联件2、电磁阀组3、压力控制器4、提升气缸5、三维旋转喷头6，气源管1与过滤器21连接，减压阀22与三位五通电磁阀31连接，三位五通电磁阀31连接后端连接两个阻尼阀32，两个 阻尼阀32分别连接一个二位三通电磁阀33，两个二位三通电磁阀33分别连接提升气缸5的上气腔、下气腔，每条二位三通电磁阀33与提升气缸5连接的管路上分别连接一个压力控制器4，三维旋转喷头6通过提升杆7与提升气缸5的活塞联动连接，油雾器在图中未标识，油雾器、减压阀22、过滤器21构成气动三联件2，二位三通电磁阀33、三位五通电磁阀31、阻尼阀32构成电磁阀组3。