[发明专利]狭缝装置及四刀狭缝有效
| 申请号： | 201310099537.3 | 申请日： | 2013-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN103162825A | 公开（公告）日： | 2013-06-19 |
| 发明（设计）人： | 肖松文;朱涛;韩庆夫;段红星;王璐 | 申请（专利权）人： | 中国科学院高能物理研究所 |
| 主分类号： | G01J3/04 | 分类号： | G01J3/04;F16H25/20 |
| 代理公司： | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 赵根喜;吕俊清 |
| 地址： | 100049 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种四刀狭缝及其狭缝装置，所述狭缝装置包括：主体基板（1）；第一滑台（9）和第二滑台（2）；分别设置于第一滑台（9）和第二滑台（2）的两相对内侧的第一狭缝刀片（7）和第二狭缝刀片（5）；用于驱动第一滑台（9）相对于主体基板（1）滑动的主驱动机构；固定连接于第一滑台（9），用于驱动第二滑台（2）相对于主体基板（1）滑动的副驱动机构。本发明可以大大减小两根丝杠独立运动的误差，从而获得更高的狭缝开口精度，并可获得十几微米级别的狭缝。 | ||
| 搜索关键词： | 狭缝 装置 | ||
【主权项】：
一种狭缝装置，用于光谱仪器系统，其特征在于，所述狭缝装置包括：主体基板（1）；第一滑台（9）和第二滑台（2）；分别设置于第一滑台（9）和第二滑台（2）的两相对内侧的第一狭缝刀片（7）和第二狭缝刀片（5）；用于驱动第一滑台（9）相对于主体基板（1）滑动的主驱动机构；固定连接于第一滑台（9），用于驱动第二滑台（2）相对于主体基板（1）滑动的副驱动机构。
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