[发明专利]狭缝装置及四刀狭缝有效
申请号: | 201310099537.3 | 申请日: | 2013-03-26 |
公开(公告)号: | CN103162825A | 公开(公告)日: | 2013-06-19 |
发明(设计)人: | 肖松文;朱涛;韩庆夫;段红星;王璐 | 申请(专利权)人: | 中国科学院高能物理研究所 |
主分类号: | G01J3/04 | 分类号: | G01J3/04;F16H25/20 |
代理公司: | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人: | 赵根喜;吕俊清 |
地址: | 100049 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 狭缝 装置 | ||
1.一种狭缝装置,用于光谱仪器系统,其特征在于,所述狭缝装置包括:
主体基板(1);
第一滑台(9)和第二滑台(2);
分别设置于第一滑台(9)和第二滑台(2)的两相对内侧的第一狭缝刀片(7)和第二狭缝刀片(5);
用于驱动第一滑台(9)相对于主体基板(1)滑动的主驱动机构;
固定连接于第一滑台(9),用于驱动第二滑台(2)相对于主体基板(1)滑动的副驱动机构。
2.根据权利要求1所述的狭缝装置,其特征在于,第一滑台(9)和第二滑台(2)共面并与主体基板(1)平行;主体基板(1)的两侧边对称固定连接左右两条直线导轨副(6),左右两条直线导轨副(6)各包含两个滑块(29),第一滑台(9)分别与左右两条直线导轨副(6)的其中一个滑块固定连接,第二滑台(2)分别与左右两条直线导轨副(6)的其中另一个滑块固定连接,第二狭缝刀片(5)的刀口与第一狭缝刀片(7)的刀口平行并与直线导轨副(6)垂直。
3.根据权利要求2所述的狭缝装置,其特征在于,所述主驱动机构包括主丝杠(10)、主丝杠螺母(13)、主电机连接板(15)、轴承(17)、主电机法兰(20)和主电机(21),第一滑台(9)一侧与主丝杠螺母(13)固定连接,主丝杠(10)与主丝杠螺母(13)螺纹连接,主丝杠(10)与主电机法兰(20)通过一对轴承(17)相连,主电机法兰(20)通过主电机连接板(15)与主体基板(1)固定连接,主丝杠(10)的轴承安装端通过联轴器(19)与主电机(21)相连;
所述副驱动机构包括副丝杠(26)、副丝杠螺母(25)、副电机法兰(24)、副电机连接板(22)、轴承(17)和副电机(23),副丝杠(26)与副丝杠螺母(25)螺纹连接,副丝杠(26)与副电机法兰(24)通过一对轴承(17)相连,副电机法兰(24)通过副电机连接板(22)与第一滑台(9)固定连接,副丝杠(26)的轴承安装端通过联轴器(19)与副电机(23)相连。
4.根据权利要求3所述的狭缝装置,其特征在于,主丝杠(10)和副丝杠(26)与直线导轨副(6)平行设置,且分别设置在主体基板(1)的两侧。
5.根据权利要求4所述的狭缝装置,其特征在于,主丝杠(10)和副丝杠(26)的轴承安装端设置有锁紧螺母(18)和轴承压板(16)以分别限制主丝杠(10)和副丝杠(26)的轴向和径向窜动。
6.根据权利要求3所述的狭缝装置,其特征在于,主丝杠螺母(13)和副丝杠螺母(25)内均设置有副螺母(11)和压簧(12)组成的张紧机构以分别消除主丝杠(10)和主丝杠螺母(13)之间、副丝杠(26)和副丝杠螺母(25)之间的间隙。
7.根据权利要求3所述的狭缝装置,其特征在于,第一滑台(9)和第二滑台(2)的同一侧的与主体基板(1)平行的平面上都粘有光栅尺(27),在与主体基板(1)固定连接的主读数头支架(14)和与第一滑台(9)固定连接的副读数头支架(3)上均设置有光栅尺读数头(28),光栅尺读数头(28)实时读取光栅尺(27)以获得第一狭缝刀片(7)和第二狭缝刀片(5)的实时位置。
8.根据权利要求1所述的狭缝装置,其特征在于,第一狭缝刀片(7)和第二狭缝刀片(5)为碳化硼材料制成。
9.根据权利要求1所述的狭缝装置,其特征在于,第一狭缝刀片(7)和第二狭缝刀片(5)在垂直于主体基板(1)的方向上错位布置。
10.一种四刀狭缝,包括水平设置和竖直设置的两狭缝装置,所述狭缝装置为权利要求1-9任一所述的狭缝装置。
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